[发明专利]纯化碳化硅结构的方法有效
| 申请号： | 200580032316.8 | 申请日： | 2005-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN101027267A | 公开（公告）日： | 2007-08-29 |
| 发明（设计）人： | L·W·夏夫;B·L·吉尔摩 | 申请（专利权）人： | MEMC电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/91 | 分类号： | C04B41/91;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 林柏楠;刘金辉 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纯化 碳化硅 结构 方法 | ||
【说明书】：
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