[发明专利]高深宽比碳微机电系统的表面和组成增强无效
| 申请号： | 200580033124.9 | 申请日： | 2005-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN101031677A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | M·马杜;C·王;L·塔赫拉巴迪;B·帕克;R·昭克 | 申请（专利权）人： | 加州大学评议会 |
| 主分类号： | D01F9/127 | 分类号： | D01F9/127;C23C16/26;D01F9/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 周铁;林森 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高深 微机 系统 表面 组成 增强 | ||
【权利要求书】：
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