[发明专利]具有干燥功能的晶片边缘轮有效
| 申请号： | 200580033396.9 | 申请日： | 2005-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN101031765A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | J·帕克斯 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究有限公司 |
| 主分类号： | F26B7/00 | 分类号： | F26B7/00;F26B17/24;F26B13/30;F26B5/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 范晓斌;黄力行 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 干燥 功能 晶片 边缘 | ||
【说明书】：
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