[发明专利]用于探测半导体晶片的可置换探针装置

权利要求书

1.一种用于探测将由测试设备测试的半导体晶片上的器件的探针装置，包括：

具有多个探针插槽的底板；

被构造成自包含组件的探针片，所述探针片安装于所述底板上的至少一个探针插槽，并可从所述至少一个探针插槽移动到所述底板上的另一个探针插槽，以及

导向机构，其中所述导向机构包括：

用于容纳所述底板的适配器；以及

用于调节所述底板的倾斜角度以使所述底板与所述晶片对准的多个旋钮。

2.如权利要求1所述的探针装置，其特征在于，所述导向机构还包括被构造和安排成吻合所述适配器中的底板的接口构件。

3.如权利要求2所述的探针装置，其特征在于，所述底板包括：

用于提供用于所述探针片的精确定位以测试晶片上的器件的机构。