[发明专利]含有芳香族磺酸酯化合物和光酸发生剂的形成下层防反射膜的组合物有效
| 申请号： | 200580034611.7 | 申请日： | 2005-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN101040221A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | 畑中真;榎本智之;木村茂雄 | 申请（专利权）人： | 日产化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;C08G59/42;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 段承恩;田欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 含有 芳香族 酯化 发生 形成 下层 反射 组合 | ||
【说明书】：
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