[发明专利]蚀刻导电层的装置以及蚀刻方法无效
| 申请号： | 200580035149.2 | 申请日： | 2005-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN101040067A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | 克里斯托夫·马扎拉;乔纳·吉拉尔 | 申请（专利权）人： | 法国圣－戈班玻璃公司 |
| 主分类号： | C25F3/14 | 分类号： | C25F3/14;H01L31/18 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王永建 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 导电 装置 以及 方法 | ||
【权利要求书】：
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