[发明专利]根据加权主成分分析的错误侦测系统与方法有效
申请号: | 200580036619.7 | 申请日: | 2005-10-12 |
公开(公告)号: | CN101048711A | 公开(公告)日: | 2007-10-03 |
发明(设计)人: | M·A·珀迪 | 申请(专利权)人: | 先进微装置公司 |
主分类号: | G05B19/418 | 分类号: | G05B19/418;G05B23/02 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 戈泊;程伟 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 根据 加权 成分 分析 错误 侦测 系统 方法 | ||
【说明书】:
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