[发明专利]搬运系统、基板处理装置以及搬运方法无效
| 申请号： | 200580036730.6 | 申请日： | 2005-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN101048327A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 浅川辉雄 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B65G47/46 | 分类号： | B65G47/46;B65G49/07;B65G47/88;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 搬运 系统 处理 装置 以及 方法 | ||
【说明书】：
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