[发明专利]生产光纤预制件的方法

权利要求书

1.一种生产光纤预制件的方法，该方法包括以下步骤：

在将含有玻璃原料的气体引入起始管的同时，用平行于该管的轴移动的等离子体燃烧器从该管的外围表面进行加热来氧化所述玻璃原料，使得在所述起始管的内壁表面上沉积玻璃膜，其中所述起始管的壁厚为d(mm)，所述等离子体燃烧器相对于所述起始管的横动速度是100mm/分钟或更大，

其中，在所述的沉积步骤中，在所述起始管的各点处将温度控制为不超过(1800+100×d)℃，并且在(1100+100×d)℃或更高的温度下持续20秒或更长的时间，并且

所述气体包含等于或大于7g/分钟的四氯化硅和等于或大于4L/分钟的氧气，使得所述玻璃膜的沉积速率为1.3g/分钟或更大。

2.根据权利要求1所述的方法，

其中，在通过电感耦合形成等离子体的区域中，所述等离子体燃烧器的内径为80mm或更大。

3.根据权利要求1所述的生产光纤预制件的方法，

其中，所述的等离子体燃烧器包括至少两个用于形成等离子体的进气口，并且，该等离子体燃烧器在形成等离子体的区域处的内径为80mm或更大，并且

以满足如下关系的方式进行沉积：150mm/秒＜Q/S＜600mm/秒，其中Q是引入所述燃烧器的气体的总流速，S是在该区域处的横截面积。

4.根据权利要求3所述的生产光纤预制件的方法，

其中，在所述的沉积步骤中，将含有多原子分子的气体从所述的至少两个进气口中的至少一个进气口引入。

5.根据权利要求3或4所述的生产光纤预制件的方法，

其中，控制将要从所述至少两个进气口中的每个进气口引入的所述气体的混合比或流速，使得所述起始管可以具有所需的温度分布。