[发明专利]颗粒物质到蒸发源的输送

权利要求书

1.一种将颗粒物质蒸发并将其在表面上冷凝以形成膜层的方法，包括：

(a)在第一容器内提供一些第一颗粒物质并在与所述第一容器相隔开的第二容器内提供一些第二颗粒物质，所述第一容器和第二容器分别具有第一开口和第二开口；

(b)将所述第一颗粒物质通过所述第一容器内的所述第一开口传送到歧管内并将所述第一颗粒物质在所述歧管内进行蒸发；

(c)将所述第二颗粒物质通过所述第二容器内的所述第二开口传送到所述歧管中并将所述第二颗粒物质在所述歧管中进行蒸发，第一蒸发的颗粒物质和第二蒸发的颗粒物质借此进行混合；以及

(d)将所混合的蒸发物质从所述歧管输送到所述表面以形成所述膜层。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：进一步包括将从至少所述第一容器或第二容器输送的颗粒物质进行液化。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：进一步提供分别与所述第一容器和第二容器相联合的第三容器和第四容器，所述第三容器和第四容器分别用于将颗粒物质传送到其所对应的第一容器或第二容器中。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：进一步包括分别测量从所述第三容器和第四容器传送到所述第一容器和第二容器的颗粒物质的量，以在所述第一容器和第二容器中提供基本上恒容的颗粒物质。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：将所述第一颗粒物质传送到歧管中的步骤包括：

(a)将所述第一颗粒物质通过所述第一开口传送到第一螺旋推进器；以及

(b)旋转至少一部分所述第一螺旋推进器，以沿着进给通道将所述第一颗粒物质从所述第一容器传送到所述第一颗粒物质在其中进行蒸发的第一蒸发区中。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：将所述第二颗粒物质传送到歧管中的步骤包括：

(a)将所述第二颗粒物质通过所述第二开口传送到第二螺旋推进器；以及

(b)旋转至少一部分所述第二螺旋推进器，以沿着进给通道将所述第二颗粒物质从所述第二容器传送到所述第二颗粒物质在其中进行蒸发的第二蒸发区中。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：至少一个所述第一颗粒物质或第二颗粒物质包括有机颗粒物质。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：所述第一螺旋推进器包括相对于所述螺旋推进器的轴具有4到1 5度之间的角度的螺旋线。

9.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：所述螺旋推进器的表面是经过处理的。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于：所述螺旋推进器的表面涂有氮化钛。

11.根据权利要求9所述的方法，其特征在于：所述螺旋推进器的表面是经过电解抛光的。

12.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：至少所述第一容器保持在大气压力以下的压力。

13.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：进一步包括通过使用搅拌装置搅拌所述第一有机物质。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于：所述搅拌装置包括压电结构或旋转螺纹型装置。

15.根据权利要求6所述的方法，其特征在于：所述第一螺旋推进器结构穿过所述第一容器的内部，且所述第二螺旋推进器结构穿过所述第二容器的内部。

16.根据权利要求6所述的方法，其特征在于：所述第一颗粒物质和第二颗粒物质到所述螺旋推进器结构的进给速度控制了所述蒸发的颗粒物质的沉积速率和在所述膜层中的物质的浓度。

17.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述歧管包括在所述歧管中的单独的蒸发区。

18.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述第一颗粒物质包括两种或多种不同的有机物质成分。

19.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述第二颗粒物质包括两种或多种不同的有机物质成分。

20.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：旋转所述第一螺旋推进器的至少一部分包括以重复增量的方式旋转所述第一螺旋推进器。