[发明专利]硫酸循环型清洗系统以及硫酸循环型过硫酸供给装置

权利要求书

1.硫酸循环型清洗系统，其特征在于：该系统具备以过硫酸溶液作为清洗液，清洗被清洗材料的清洗装置；通过电解反应由溶液中所含的硫酸离子生成过硫酸离子，再生过硫酸溶液的电解反应装置；使上述过硫酸溶液在上述清洗装置和电解反应装置之间循环的循环线路；和对上述过硫酸溶液补给超纯水或过氧化氢水而抑制硫酸浓度上升的超纯水或过氧化氢水补给线路。

2.权利要求1的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：将在上述电解反应装置中电解的溶液的温度保持在比上述清洗液的温度低的温度。

3.权利要求1的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：在上述电解反应装置中电解的溶液的温度在10℃-90℃的范围。

4.权利要求1-3中任一项的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：该系统具备将上述清洗液进行加热的加热装置。

5.权利要求1-3中任一项的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：该系统具备将在上述电解反应装置中电解的溶液进行冷却的冷却装置。

6.权利要求4的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：该系统具备将在上述电解反应装置中电解的溶液进行冷却的冷却装置。

7.权利要求1-3中任一项的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：该系统具有热交换装置，该热交换装置是在上述循环线路中，由上述电解反应装置产生的相对较低温的过硫酸溶液的传送液和由上述清洗装置产生的相对高温的过硫酸溶液的返回液之间进行热交换。

8.权利要求1的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：上述循环线路中的通路含有石英或四氟乙烯。

9.权利要求1的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：该系统具有将通过上述清洗而从被清洗材料除去的除去物进行分解的分解部。

10.权利要求1的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：在上述电解装置中电解的溶液的硫酸浓度为8M-18M。

11.权利要求1的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：电解反应装置所具备的电极中，至少阳极为导电性金刚石电极。

12.权利要求11的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：电解反应装置所具备的导电性金刚石电极是层合在基板上，然后除去基板得到的自立型导电性金刚石电极。

13.权利要求1的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：上述被清洗材料是半导体基板。

14.权利要求1的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：进行电解控制，使得上述电解装置中过硫酸生成速度和上述清洗装置中有机污染物的总有机性碳浓度(TOC)生成速度的比(过硫酸生成速度[g/l/hr])/(清洗池内TOC生成速度[g/l/hr])在10-500。

15.权利要求1的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：上述超纯水或过氧化氢水补给线路设计成在清洗装置的清洗池底部一侧注入超纯水或过氧化氢水。

16.权利要求1或15的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：该系统具有测定上述溶液的硫酸浓度的硫酸浓度测定装置，根据该硫酸浓度测定装置得到的测定浓度，可以控制上述超纯水或过氧化氢水补给线路的注入动作。

17.权利要求16的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：通过上述硫酸浓度测定装置得到的测定浓度如果比预先规定的设定浓度高0.2M以上，则通过上述超纯水或过氧化氢水补给线路进行超纯水或过氧化氢水的注入。

18.权利要求16的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：上述硫酸浓度测定装置是通过吸光度法测定硫酸浓度的。

19.权利要求1或15的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：该系统具有测定上述清洗装置的清洗池中的清洗液量的液体量测定装置，根据该液体量测定装置的测定结果，控制上述超纯水或过氧化氢水补给线路的注入动作。

20.权利要求1或15的硫酸循环型清洗系统，其特征在于：该系统具有测定上述清洗装置的清洗池中清洗液的液面高度的液面高度测定装置，根据该液面高度测定装置的测定结果，控制上述超纯水或过氧化氢水补给线路的注入动作。