[发明专利]具有压电块的微机电装置及其制作方法

权利要求书

1.一种形成具有压电换能器的装置的方法，包括：

在压电材料主体的第一表面内形成第一凹形，所述第一凹形具有第一深度和壁；

在形成所述第一凹形之后，所述压电材料主体的第一表面附着到装置主体；以及

在将所述压电材料主体附着到所述装置主体之后，通过减薄所述压电材料，从所述压电材料主体的与第一表面相对的第二表面除去所述压电材料，至少直到所述第一凹形暴露。

2.权利要求1所述的方法，其中从所述压电材料主体的所述第二表面除去所述材料包括将所述压电材料主体减薄至一厚度。

3.权利要求2所述的方法，其中减薄所述压电材料主体至一厚度包括减薄所述压电材料主体，直到所述厚度小于所述第一凹形的第一深度。

4.权利要求1所述的方法，还包括，在将所述压电材料主体的所述第一表面附着到装置主体之前，在所述压电材料第一表面上设置第一导电材料，使得所述第一导电材料覆盖所述压电材料的第一表面和所述第一凹形的壁。

5.权利要求1所述的方法，还包括在所述第一表面内形成第二凹形。

6.权利要求5所述的方法，其中所述第一凹形与所述第二凹形正交。

7.权利要求5所述的方法，其中：

所述装置主体具有多个腔体，其具有介于所述多个腔体的各个腔体之间的壁；以及

在所述附着步骤之前，所述第二凹形与所述装置主体内的壁对准。

8.权利要求5所述的方法，其中在将导电材料置于所述第一表面上之后形成所述第二凹形。

9.权利要求1所述的方法，其中从所述压电材料主体除去所述压电材料包括研磨。

10.权利要求1所述的方法，其中在压电材料主体的第一表面内形成第一凹形包括垂直于所述第一表面形成凹形。

11.权利要求1所述的方法，还包括：

将导电材料置于所述第一凹形的壁上以提供一部分导电连接器；以及

将导电材料置于所述压电材料主体的第二表面上，

其中通过将所述导电材料置于所述第二表面上而形成第一导电区域和第二导电区域；

其中毗邻所述压电材料主体的第一表面的电极层不与所述第一导电区域电学接触；以及

所述导电连接器将毗邻所述第一表面的电极层电学连接到所述第二导电区域。

12.权利要求11所述的方法，其中设置所述导电材料包括光刻蚀刻所述导电材料以在所述第一和第二导电区域之间形成电学击穿区域。

13.权利要求1所述的方法，还包括将第一导电材料设置于所述压电材料的第一表面上，使得所述第一导电材料覆盖所述压电材料的第一表面。

14.权利要求1所述的方法，还包括：

在形成所述第一凹形之前，将所述压电材料主体结合到衬底；以及

在将所述压电材料主体结合到所述衬底之后，将所述压电材料主体减薄到小于200微米的第一厚度，

其中所述第一凹形具有小于所述第一厚度的第一深度。