[发明专利]用于真空泵的前级管道预调节

权利要求书

1.一种用于对包含不相似气体的至少两个处理真空室(330、331)进行排气的真空排气装置(300)，包括：

至少两个连接至处理真空室(330、331)的排气端口的涡轮分子泵；

低于大气压的消减室(310)，具有至少两个入口(340、341)和一个出口(360)，所述至少两个入口从所述至少两个涡轮分子泵接纳气体；

前级泵(370)，连接至所述低于大气压的消减室的所述出口，用于在所述消减室内保持真空；

所述低于大气压的消减室包含至少一个预调节器(350)，用于对从所述处理真空室的接纳气体中的至少一种以不同于所述气体中的另一种的方式进行调节，由此将所述气体变成相容的以用于混合。

2.如权利要求1所述的真空排气装置，其特征在于，所述至少一个预调节器(350)是选自下列装置的一消减装置：等离子化装置、化学燃烧装置、化学中和装置和过滤器。

3.如权利要求1所述的真空排气装置，其特征在于，所述低于大气压的消减室(310)包括多个预调节器(350、351)，各用于调节来自于相应处理真空室的气体。

4.如权利要求1所述的真空排气装置，其特征在于，所述涡轮分子泵能够排气到超过1torr的压力。

5.如权利要求1所述的真空排气装置，其特征在于，所述涡轮分子泵能够排气到超过5torr的压力。

6.如权利要求1所述的真空排气装置，其特征在于，还包括连接至所述涡轮分子泵的排气侧的节流阀(112)。

7.如权利要求1所述的真空排气装置，其特征在于，所述低于大气压的消减室邻近所述处理真空室。

8.如权利要求1所述的真空排气装置，其特征在于，所述低于大气压的消减室远离所述处理真空室。

9.如权利要求1所述的真空排气装置，其特征在于，所述低于大气压的消减室(310)的内部容积减小了所述处理真空室中的一个中的压力变化对另一所述处理真空室中的压力的影响。

10.如权利要求1所述的真空排气装置，其特征在于，所述前级泵邻近所述低于大气压的消减室。

11.如权利要求1所述的真空排气装置，其特征在于，还包括连接至所述前级泵的排气侧的大气压消减装置(150)。

12.如权利要求11所述的真空排气装置，其特征在于，所述大气压消减装置(150)选自下列装置：湿式洗涤器、干式洗涤器以及组合式干/湿洗涤器。

13.如权利要求1所述的真空排气装置，其特征在于，为了对四个处理真空室进行排气，所述低于大气压的消减室具有四个入口。

14.一种用于从多个处理真空室(330、331)中排气的方法，来自于所述处理真空室中的至少两个的所述排气彼此不相容，所述方法包括以下步骤：

在低于大气压的消减室(310)中从各所述处理真空室中接纳所述排气；

在所述低于大气压的消减室内，对来自于具有不相容气体的所述至少两个处理真空室中的至少一个的所述排气进行预调节，由此将所述不相容气体变成相容的；以及

通过单个通道从所述低于大气压的消减室将所述相容的排气抽吸至前级真空泵(370)，由此将所述低于大气压的消减室保持在5-10torr之间的压力下。

15.如权利要求14所述的方法，还包括用涡轮分子泵(111)将所述排气从所述处理真空室中的至少一个转移至所述低于大气压的消减室的步骤。

16.如权利要求14所述的方法，其特征在于，预调节所述排气的所述步骤包括使所述排气经受选自下列处理中的至少一种处理：等离子化、化学燃烧、化学中和以及过滤。