[发明专利]用于离子束植入器的波纹管式套管

权利要求书

1.一种离子束植入器，用于将一离子束针对于一工件而指引，该植入器包含：

a)一植入站，界定一真空的植入室，该工件支撑于该植入室之内；

b)束形成及指向装置，界定一真空的离子束植入器内部区域，离子束通过其内部区域途径至该植入站；

c)一可挠性波纹管，配置于该植入站与该束形成及指向装置之间，使该植入站关于该束形成及指向装置而可移动，该波纹管界定一真空的内部区域，其中离子束会通过；及

d)一可挠性波纹管式套管，定位于该波纹管内部区域之内，用于收集于该工件的植入期间所产生的植入副产物，以降低其沉积于该波纹管之一内部表面的植入副产物的量。

2.如权利要求1的离子束植入器，其中，该波纹管式套管自其邻近于该植入站的波纹管的一端部而延伸于该波纹管内部区域之内。

3.如权利要求1的离子束植入器，其中，该波纹管式套管固定至一凸缘，其耦接至该植入站的一壁部。

4.如权利要求1的离子束植入器，其中，该波纹管式套管由聚酰亚胺(polyimide)材料所构成。

5.如权利要求4的离子束植入器，其中，该波纹管式套管由聚酰亚胺薄膜所构成。

6.如权利要求1的离子束植入器，其中，该波纹管大体为圆柱形，且该波纹管式套管沿着该波纹管之一轴向长度的至少一部分延伸。

7.如权利要求1的离子束植入器，其中，该波纹管之一第一端耦接至该植入站且其相对端耦接至该束形成及指向装置之一解析壳体。

8.如权利要求7的离子束植入器，其中，该波纹管第一端包括其运用复数个固定件而固定至该植入站之一凸缘，且该波纹管第二端包括运用复数个固定件而固定至该解析壳体之一凸缘。

9.如权利要求1的离子束植入器，其中，该波纹管由复数个卷曲部分所制成。

10.如权利要求1的离子束植入器，其中，该波纹管式套管可更换。

11.一种波纹管，其枢转式的耦接一离子束植入器之一植入站与束形成及指向装置，支撑于该植入站之内的一工件由一离子束所植入，该工件通过离子束的植入产生植入副产物，该种波纹管包含：

a)由该波纹管所界定之一真空内部区域，该离子束通过该内部区域；及

b)一波纹管式套管，定位于该波纹管内部区域之内，用于收集于该工件的植入期间所产生的植入副产物，以降低其沉积于该波纹管之一内部表面的植入副产物的量。

12.如权利要求11的波纹管，其中，该波纹管式套管自其邻近于该植入站的波纹管的一端部而延伸于该波纹管内部区域之内。

13.如权利要求11的波纹管，其中，该波纹管式套管固定至一凸缘，其耦接至该植入站的一壁部。

14.如权利要求11的波纹管，其中，该波纹管式套管由聚酰亚胺材料所构成。

15.如权利要求14的波纹管，其中，该波纹管式套管由聚酰亚胺薄膜所构成。

16.如权利要求11的波纹管，其中，该波纹管大体为圆柱形，且该波纹管式套管沿着该波纹管之一轴向长度的至少一部分延伸。

17.如权利要求11的波纹管，其中，该波纹管之一第一端耦接至该植入站而一相对端耦接至该束形成及指向装置之一解析壳体。

18.如权利要求17的波纹管，其中，该波纹管第一端包括其运用复数个固定件而固定至该植入站之一凸缘，且该波纹管第二端包括运用复数个固定件而固定至该解析壳体之一凸缘。

19.如权利要求11的波纹管，其中，该波纹管由复数个卷曲部分所制成。

20.如权利要求11的波纹管，其中，该波纹管式套管可更换。