[发明专利]衬底保持设备以及抛光装置

权利要求书

1、一种衬底保持设备，包括：

弹性膜，使其与衬底的后表面接触；

附着构件，用于固定所述弹性膜的至少一部分；以及

保持环，用于在该衬底与所述弹性膜接触时保持该衬底的外围部分，

其中所述弹性膜包括至少一个突出部分，并且

所述附着构件包括与所述至少一个突出部分啮合的至少一个啮合部分。

2、根据权利要求1所述的衬底保持设备，其中所述至少一个突出部分在所述弹性膜径向上向内突出。

3、根据权利要求1所述的衬底保持设备，其中：

所述至少一个突出部分包括多个突出部分，并且

所述至少一个啮合部分包括多个啮合部分。

4、根据权利要求3所述的衬底保持设备，其中所述多个啮合部分关于所述衬底的中心对称设置。

5、根据权利要求1所述的衬底保持设备，其中所述至少一个啮合部分的厚度大于或等于将与所述衬底的所述后表面接触的所述弹性膜的厚度。

6、根据权利要求1所述的衬底保持设备，其中所述弹性膜包括可以在挤压方向上膨胀的波纹部分，以便允许所述弹性膜挤压所述衬底，且其沿着所述挤压方向可收缩。

7、根据权利要求6所述的衬底保持设备，其中将与所述衬底接触的所述弹性膜比所述波纹部分厚。

8、一种抛光装置，包括：

具有抛光表面的抛光台；以及

根据权利要求1到7中的任何一项所述的衬底保持设备，

其中所述衬底保持设备用于保持衬底，并将所述衬底挤压在所述抛光表面上，从而抛光所述衬底。