[发明专利]有机金属化合物及其制备方法有效
| 申请号： | 200580042841.8 | 申请日： | 2005-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN101080415A | 公开（公告）日： | 2007-11-28 |
| 发明（设计）人： | S·H·米埃尔 | 申请（专利权）人： | 普莱克斯技术有限公司 |
| 主分类号： | C07F17/02 | 分类号： | C07F17/02;C07D207/323 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘冬;林森 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机 金属 化合物 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种下式表示的有机金属化合物
其中R1、R2、R3、R4各自表示氢，R5、R6、R7、R8和R9相同或 不同，各自表示氢或具有1-12个碳原子的烷基，其中所述有机金属 化合物在20℃下为液体。
2.权利要求1的有机金属化合物，所述有机金属化合物选自： 环戊二烯基吡咯基合钌、甲基环戊二烯基吡咯基合钌、乙基环戊二烯 基吡咯基合钌、异丙基环戊二烯基吡咯基合钌、叔丁基环戊二烯基吡 咯基合钌、1，2-二甲基环戊二烯基吡咯基合钌、1，3-二甲基环戊二烯基 吡咯基合钌。
3.权利要求1的有机金属化合物，所述有机金属化合物为可氢 还原的。
4.一种制备薄膜、涂层或粉末的方法，通过分解权利要求1的 有机金属化合物，从而制备薄膜、涂层或粉末，其中分解所述有机金 属化合物通过热、化学、光化学或等离子体活化。
5.权利要求4的方法，其中将所述有机金属化合物气化，随后 将蒸气引向包含底材的淀积反应器，所述底材包括选自金属、金属硅 化物、半导体、绝缘体和阻挡材料的材料。
6.一种混合物，所述混合物包含(i)权利要求1的有机金属化合 物和(ii)一种或多种不同的有机金属化合物。
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