[发明专利]使用参数测量单元作为被测器件的电源

说明书

技术领域

本专利申请总的来说涉及测试器件，具体而言涉及使用参数测量单元作为器件的电源。

背景技术

自动测试设备(Automatic test equipment，ATE)指的是自动化的、通常由计算机驱动的、靠近测试器件的、诸如半导体、电子电路和印刷电路板之类的组件。参数测量单元(parametric measurement unit，PMU)通常是ATE的一部分。在器件测试期间利用PMU来测量器件管脚中诸如电压和电流之类的参数以及校准那些参数。PMU尝试确保在测试期间将恰当的参数值施加到被测器件(device under test，DUT)上。

在大多数测试过程期间被测器件都需要电源。在此以前，把独立电源嵌入到ATE中。然而，独立电源的使用将增加ATE的成本和尺寸。

发明内容

本专利申请描述了利用PMU作为DUT的电源的设备和方法，包括计算机程序产品。

通常，在一个方面，本发明涉及一种提供电流至DUT的设备。所述设备包括被配置成提供电流至器件的第一PMU和被配置成提供电流至器件的第二PMU。来自第二PMU的电流增大在器件处的来自第一PMU的电流。利用来自PMU的电流为DUT供电消除了对独立电源的需要。因为其减少了ATE的成本和尺寸，所以这是有益的。

这方面可以包括一个或多个以下特征。所述设备可以包括一个或多个配置成提供电流到器件的附加PMU。来自一个或多个附加PMU的电流增大在器件处的来自第一和第二PMU的电流。第一和第二PMU可以具有基本上相同的结构，其包括用于输出电流的驱动器和用于调节驱动器的电流输出的反馈路径。所述设备可以包括第三PMU，其被配置以检测在DUT处的电压。该电压可以被用作到第一和第二PMU的输入。第三PMU可以被配置成通过禁用第三PMU输出电流到DUT的功能的方式来检测电压(例如，通过三态所述第三PMU)。所述设备可以是用于测试由DUT执行的功能的ATE的一部分；可以在作为ATE的一部分的单个芯片上实现第一、第二和第三PMU；以及ATE不需要包括除第一和第二PMU以外的电源。

通常，在另一个方面，本发明涉及一种提供电源到DUT的设备。所述设备包括多个PMU，每个PMU具有基本上相同的电路。多个PMU的每一个都被被配置成作为向DUT供电的电源或者作为检测器件。多个PMU包括配置以检测器件中电压的第一PMU，其中第一PMU包括分接DUT的电压的检测路径，以及至少一个附加PMU被配置成作为电源工作。至少一个附加PMU经由第一PMU接收电压并根据经由第一PMU接收的电压提供输出电流。当PMU利用电流向器件供电时，检测路径可被用于确保DUT中的恒定电压。

该方面可以包括一个或多个以下特征。所述至少一个附加PMU可以包括：被配置成作为电源的第二PMU，其中第二PMU包括输出电流至DUT的第二驱动器，并且其中第二驱动器经由第一PMU接收电压；以及被配置成作为电源工作的第三PMU，其中第三PMU包括输出电流至DUT的第三驱动器，并且其中第三驱动器经由第一PMU接收电压；和/或配置成作为电源工作的第四PMU，其中第四PMU包括输出电流到DUT的第四驱动器，以及其中第四驱动器接收外部电压和经由第一PMU接收的电压这二者来作为输入。

第二、第三和第四PMU的每一个都可以包括反馈路径。第二PMU的反馈路径可以提供输入到第二驱动器；第三PMU的反馈路径可以提供输入到第三驱动器；以及第四PMU的反馈路径可以提供输入到第四驱动器。第二PMU的反馈路径可以分接在DUT和第二驱动器之间的电压，第三PMU的反馈路径可以分接在DUT和第三驱动器之间的电压。

第一PMU可以被配置成通过禁用第一PMU中使得PMU能够作为电源工作的功能的方式来检测器件中的电压。第一PMU中使得第一PMU能够作为电源工作的功能可以存在于驱动器中。驱动器可以通过三态驱动器的方式来禁用。所述设备可以是用于测试由DUT执行的功能的一部分的ATE；多个PMU可以在作为ATE的一部分的单个芯片上实现；并且ATE可以不包括除多个PMU以外的电源。

通常，在另一个方面，本发明涉及一种提供电流到DUT的方法。所述方法包括：检测提供至DUT的输出电流，提供与输出电流对应的电压来作为到多个PMU的输入，输出来自多个PMU的每一个的电流，其中来自每一个PMU的电流基于电压，以及在DUT中结合来自多个PMU的电流。检测电流的步骤可以包括配置第一PMU来检测输出电流。第一PMU可以提供电压到多个PMU。