[发明专利]用于检测特殊的红外电磁辐射的部件有效

专利信息
申请号: 200580043815.7 申请日: 2005-12-12
公开(公告)号: CN101084575A 公开(公告)日: 2007-12-05
发明(设计)人: S·蒂尼斯 申请(专利权)人: ULIS股份公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;G01J5/06
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 曹若;黄力行
地址: 法国沃雷*** 国省代码: 法国;FR
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摘要:
搜索关键词: 用于 检测 特殊 红外 电磁辐射 部件
【权利要求书】:

1.用于检测电磁辐射的部件,包括:

-限定了腔(5)的盒体,盒体的腔(5)被置于真空或负压下,所述盒体包括形成盒体底部的基板(1)、邻接基板的侧壁和盖,盖含有窗户(4),窗户(4)对于要检测的辐射是可透过的,所述腔容纳至少一个检测器(6),检测器(6)用于检测辐射且设置在所述腔内、对着可透过的窗户,

-残留气体的泵吸装置(13),以便把盒体的腔(5)的真空或负压保持在合理的水平,

-热稳定装置(18),用于保证对所述至少一个检测器进行温度调节,

其特征在于:热稳定装置含有电阻加热元件(18),电阻加热元件(18)被集成于所述检测器(6)安装在其上的基板(1)中,所述检测器(6)与一个连接电路(7)连接;

基板(1)是陶瓷制成的,和基板(1)包括至少两个陶瓷层,所述两个陶瓷层分别为通过共烧结而相互连结的上层(17)和下层(16):

-上层(17)接受通过钎焊或环氧树脂粘结而连接在上层(17)上的检测器(6,7);和

-下层(16)包括在与上层(17)接触的面上的电阻加热元件(18),电阻加热元件(18)是通过网板印刷获得的,所述下层(16)通过共烧结而连结于上层(17)。

2.如权利要求1所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:热稳定装置的电阻加热元件(18)被在盒体外部的控制器所监测。

3.如权利要求2所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:所述控制器是PID式控制器。

4.如权利要求1所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:热稳定装置的电阻加热元件(18)具有使检测器(6)平面处的温度均匀的图形。

5.如权利要求4所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:所述图形是笔直的、圈形的或螺旋形的。

6.如权利要求1所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:在热稳定装置的电阻加热元件(18)与互连电路(11)之间的通孔(32)也被集成于基板(1)的整块材料之中,互连电路(11)为盒体至PCB的连接。

7.如权利要求6所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:通孔(32)通过在基板(1)的下层(15)中实施具有任何断面的空腔(26)而形成,空腔(26)被构造用来减小所述基板与该互连电路(11)之间的接触表面面积。

8.如权利要求6所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:含有热绝缘空腔(27),热绝缘空腔(27)被限定在盒体的底部中并经通孔(32)与所述盒体的腔(5)连通,通孔(32)制作在为集成热稳定装置的电阻加热元件(18)的共烧结陶瓷层中。

9.如权利要求8所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:所述盒体的腔(5)容纳了包含检测器(6)及其连接电路(7)的组件。

10.如权利要求8所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:热绝缘空腔(27)由共烧结陶瓷层限定,和所述热绝缘空腔(27)在其底部平面处被能够容纳泵吸装置的金属板(30)所封闭。

11.如权利要求8所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:所述容纳有热稳定装置的电阻加热元件(18)的共烧结陶瓷层通过连接件(33)与盒体的侧壁机械连接,所述连接件(33)一方面用于在热绝缘空腔(27)的上方机械地支承由检测器(6)和连接电路(7)组成的组件,另一方面用于允许利用电导线将电阻加热元件(18)至盒体的合适输出端的电接触连通,所述电导线与所述电阻加热元件(18)是同时被网板印刷的。

12.如权利要求11所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:连接件含有4个臂(33),所述臂(33)布置在所述共烧结陶瓷层的4个角处。

13.如权利要求1所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:所述电磁辐射是红外辐射。

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