[发明专利]用于检测特殊的红外电磁辐射的部件有效
申请号: | 200580043815.7 | 申请日: | 2005-12-12 |
公开(公告)号: | CN101084575A | 公开(公告)日: | 2007-12-05 |
发明(设计)人: | S·蒂尼斯 | 申请(专利权)人: | ULIS股份公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;G01J5/06 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 曹若;黄力行 |
地址: | 法国沃雷*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 检测 特殊 红外 电磁辐射 部件 | ||
1.用于检测电磁辐射的部件,包括:
-限定了腔(5)的盒体,盒体的腔(5)被置于真空或负压下,所述盒体包括形成盒体底部的基板(1)、邻接基板的侧壁和盖,盖含有窗户(4),窗户(4)对于要检测的辐射是可透过的,所述腔容纳至少一个检测器(6),检测器(6)用于检测辐射且设置在所述腔内、对着可透过的窗户,
-残留气体的泵吸装置(13),以便把盒体的腔(5)的真空或负压保持在合理的水平,
-热稳定装置(18),用于保证对所述至少一个检测器进行温度调节,
其特征在于:热稳定装置含有电阻加热元件(18),电阻加热元件(18)被集成于所述检测器(6)安装在其上的基板(1)中,所述检测器(6)与一个连接电路(7)连接;
基板(1)是陶瓷制成的,和基板(1)包括至少两个陶瓷层,所述两个陶瓷层分别为通过共烧结而相互连结的上层(17)和下层(16):
-上层(17)接受通过钎焊或环氧树脂粘结而连接在上层(17)上的检测器(6,7);和
-下层(16)包括在与上层(17)接触的面上的电阻加热元件(18),电阻加热元件(18)是通过网板印刷获得的,所述下层(16)通过共烧结而连结于上层(17)。
2.如权利要求1所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:热稳定装置的电阻加热元件(18)被在盒体外部的控制器所监测。
3.如权利要求2所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:所述控制器是PID式控制器。
4.如权利要求1所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:热稳定装置的电阻加热元件(18)具有使检测器(6)平面处的温度均匀的图形。
5.如权利要求4所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:所述图形是笔直的、圈形的或螺旋形的。
6.如权利要求1所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:在热稳定装置的电阻加热元件(18)与互连电路(11)之间的通孔(32)也被集成于基板(1)的整块材料之中,互连电路(11)为盒体至PCB的连接。
7.如权利要求6所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:通孔(32)通过在基板(1)的下层(15)中实施具有任何断面的空腔(26)而形成,空腔(26)被构造用来减小所述基板与该互连电路(11)之间的接触表面面积。
8.如权利要求6所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:含有热绝缘空腔(27),热绝缘空腔(27)被限定在盒体的底部中并经通孔(32)与所述盒体的腔(5)连通,通孔(32)制作在为集成热稳定装置的电阻加热元件(18)的共烧结陶瓷层中。
9.如权利要求8所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:所述盒体的腔(5)容纳了包含检测器(6)及其连接电路(7)的组件。
10.如权利要求8所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:热绝缘空腔(27)由共烧结陶瓷层限定,和所述热绝缘空腔(27)在其底部平面处被能够容纳泵吸装置的金属板(30)所封闭。
11.如权利要求8所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:所述容纳有热稳定装置的电阻加热元件(18)的共烧结陶瓷层通过连接件(33)与盒体的侧壁机械连接,所述连接件(33)一方面用于在热绝缘空腔(27)的上方机械地支承由检测器(6)和连接电路(7)组成的组件,另一方面用于允许利用电导线将电阻加热元件(18)至盒体的合适输出端的电接触连通,所述电导线与所述电阻加热元件(18)是同时被网板印刷的。
12.如权利要求11所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:连接件含有4个臂(33),所述臂(33)布置在所述共烧结陶瓷层的4个角处。
13.如权利要求1所要求的用于检测电磁辐射的部件,其特征在于:所述电磁辐射是红外辐射。
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造