[发明专利]电荷偏置MEM谐振器

权利要求书

1.一种谐振器，包括通过间隙分隔开的振动元件和电极，其中所述电极被设置为使所述振动元件根据输入信号而振动，并根据振动产生输出信号，将电极和振动元件中至少一个设置为在使用时存储电荷，并且所述电极和振动元件中至少一个包括电荷调节器，所述电荷调节器设置用于增加或减少存储的电荷，

所述电荷调节器包括通过第一开关与带电电极或带电元件耦合的电压源，其中带电电极或带电元件是所述电极和振动元件中至少一个。

2.根据权利要求1所述的谐振器，所述电荷调节器包括与带电电极或带电元件耦合的电荷储备池。

3.根据权利要求1或2所述的谐振器，所述带电电极或带电元件是输入或输出电极。

4.根据权利要求2所述的谐振器，所述电荷储备池包括去往电极的输入路径或来自电极的输出路径上的去耦电容器。

5.根据权利要求1或2所述的谐振器，所述振动元件与衬底或接地电极电耦合。

6.根据权利要求5所述的谐振器，所述振动元件通过第二开关与衬底或地电耦合。

7.根据权利要求1或2所述的谐振器，所述振动元件与所述带电电极或带电元件结合。

8.根据权利要求1或2所述的谐振器，具有第二带电电极。

9.根据权利要求1或2所述的谐振器，具有设置在所述振动元件的两侧的带电电极。

10.根据权利要求8所述的谐振器，将所述第二带电电极充电至不同的极性。

11.根据权利要求1或2所述的谐振器，具有控制器，所述控制器设置为控制第一开关闭合以对谐振器进行预充电，并且控制第一开关在操作期间断开。

12.根据权利要求6所述的谐振器，具有控制器，所述控制器设置为控制第二开关闭合以对谐振器进行预充电，而且控制第二开关在操作期间断开。

13.根据权利要求6所述的谐振器，具有控制器，所述控制器设置为控制第一和/或第二开关在操作期间闭合。

14.根据权利要求1或2所述的谐振器，第一开关包括MEM开关。

15.根据权利要求6所述的谐振器，第二开关包括MEM开关。

16.一种集成电路，包括上述任一项权利要求所述的谐振器。

17.一种权利要求1至15中任一项所述的谐振器的操作方法，具有步骤：控制第一开关以对带电电极进行预充电。

18.一种权利要求1至15中任一项所述的谐振器的操作方法，具有步骤：控制第一开关以将谐振器作为电压偏置器件而进行操作。