[发明专利]振荡微机械角速度传感器

权利要求书

1.一种振荡微机械角速度传感器，其特征在于：它包括在支撑区域附接到传感器部件主体的两个测震质量(1，2；36，37)，以及在质量(1，2；36，37)之间的连接弹簧，使得

--角速度传感器主运动是围绕支撑区域的两个测震质量(1，2；36，37)的反相角度振荡，所述运动是必须被产生的，

--通过至少一个弯曲弹簧(11，50)，使所述测震质量(1，2；36，37)彼此连接，其机械地同步于它们的主运动，并且

--通过弹簧或者通过弹簧和刚性辅助结构，将测震质量(1，2；36，37)连接到支撑区域，这相对于与由质量形成的晶片平面相垂直的旋转轴线、并相对于在所述晶片平面方向上的至少一个旋转轴线，给予所述质量(1，2；36，37)自由度。

2.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于：所述角速度传感器是相对于一个轴线测量角速度的角速度传感器，所述传感器具有在至少两个附接点(3，4)处附接到传感器部件主体的两个测震质量(1，2)。

3.根据权利要求2所述的角速度传感器，其特征在于：弯曲弹簧(11)基本上比其宽更高。

4.根据权利要求2或3所述的角速度传感器，其特征在于：所述角速度传感器包括：

--用于主运动的旋转弹簧(5，6)，其相对于主运动具有挠性，并且

--用于检测运动的扭转弹簧(7-10)，其相对于由外部角速度生成的扭转力矩所产生的扭转振荡具有挠性。

5.根据权利要求2或3所述的角速度传感器，其特征在于：通过位于质量(1，2)上方或下方的电极，由外部角速度产生的振荡以电容方式检测。

6.根据权利要求5所述的角速度传感器，其特征在于：电极生长到密闭传感器结构的晶片内表面上。

7.根据权利要求2或3所述的角速度传感器，其特征在于：所述角速度传感器包括第二弯曲弹簧，其基本上与连接角速度传感器的质量的弹簧(11)在相同方向上延伸，并且附接到所述弹簧(11)的中心。

8.根据权利要求2或3所述的角速度传感器，其特征在于：通过附接点(3，4)，并且附加地通过在中心处安装的附接点(12，13)，将所述质量(1，2)附接到所述主体。

9.根据权利要求2或3所述的角速度传感器，其特征在于：通过附接点(3，4)，并且附加地通过在拐角或在边沿处安装的附接点(14-17)，将所述质量(1，2)附接到主体。

10.根据权利要求2或3所述的角速度传感器，其特征在于：通过附接点(18，19)，使所述质量(1，2)附接到主体，该附接点(18，19)通过设计的刚性辅助结构，在一侧附接到所述质量(1，2)。

11.根据权利要求2或3所述的角速度传感器，其特征在于：通过附接点(18，19)使所述质量(1，2)附接到主体，该附接点(18，19)通过弹簧在一侧附接到所述质量(1，2)。

12.根据权利要求2或3所述的角速度传感器，其特征在于：通过安装在端部中心处的附接点(24，25)，并且附加地，通过附接点(20，21)，使所述质量(1，2)附接到主体，所述附接点(20，21)通过弹簧(22，23)在一侧附接到质量(1，2)。

13.根据权利要求2或3所述的角速度传感器，其特征在于：所述角速度传感器包括张力减轻结构(26，27)。

14.根据权利要求2或3所述的角速度传感器，其特征在于：所述角速度传感器包括梳形结构(28，29)。

15.根据权利要求2或3所述的角速度传感器，其特征在于：所述角速度传感器包括放射状梳形结构(34，35)。

16.根据权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于：所述角速度传感器是测量相对于两个轴线的角速度的角速度传感器，所述传感器包括通过两个附接点(38，39)附接到传感器部件主体的两个质量(36，37)。

17.根据权利要求16所述的角速度传感器，其特征在于：所述弯曲弹簧(50)是基本上比其宽更高。