[发明专利]用于以CIGS建立原位结层的热方法无效
申请号: | 200580045415.X | 申请日: | 2005-11-10 |
公开(公告)号: | CN101094726A | 公开(公告)日: | 2007-12-26 |
发明(设计)人: | 约翰·R·塔特尔 | 申请(专利权)人: | 德斯塔尔科技公司 |
主分类号: | B05B7/14 | 分类号: | B05B7/14 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 王允方;刘国伟 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 cigs 建立 原位 方法 | ||
1.一种用于制备光电装置的方法,其包含以下步骤:
a.在衬底上提供p型CIGS半导体层;
b.在约300℃到约450℃之间的温度范围内将所述p型半导体层暴露于In+Se+Ga蒸汽持续2到4分钟,以产生n型半导体层来形成p-n结。
2.一种用于制备光电装置的方法,其包含以下步骤:
a.在衬底上提供p型CIGS半导体层;
b.将所述p型半导体层暴露于In+Se+Ga蒸汽而得到约50nm到约500nm的厚度,以产生n型半导体层来形成p-n结。
3.一种光电装置,其包含:
a.具有CIGS层的衬底;和
b.n型结,其通过在约300℃到约450℃之间的温度范围内提供In+Se+Ga持续2到4分钟而制得。
4.一种光电装置,其包含:
a.具有CIGS层的衬底;
b.和n型结,其通过提供In+Se+Ga而得到约50nm到约500nm厚度,以产生n型层来形成p-n结而制得。
5.一种光电装置,其中p型吸收体层是热形成的且接着被暴露于In+Se+Ga蒸汽持续额外的时间段,且同时将温度从第一温度下降到约300℃到450℃的范围。
6.根据权利要求3所述的装置,其中所述温度范围为约350℃到400℃。
7.根据权利要求5所述的装置,其中所述温度范围为约350℃到400℃。
8.根据权利要求3所述的装置,其中所述装置在所述温度范围内被暴露于In+Se+Ga蒸汽持续充分的时间,以沉积(InxGa1-x)2Se3层。
9.根据权利要求5所述的装置,其中所述装置在所述温度范围内被暴露于In+Se+Ga蒸汽持续充分的时间,以沉积(InxGa1-x)2Se3层。
10.根据权利要求3所述的装置,其中所述(InxGa1-x)2Se3层的沉积是在350℃到370℃下沉积的。
11.根据权利要求5所述的装置,其中所述(InxGa1-x)2Se3层的沉积是在350℃到370℃下沉积的。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德斯塔尔科技公司,未经德斯塔尔科技公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200580045415.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。