[发明专利]具有提高对比度的数字微镜装置及其方法有效
| 申请号： | 200580045634.8 | 申请日： | 2005-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN101095075A | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | W·M·邓肯 | 申请（专利权）人： | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/00 | 分类号： | G02F1/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 提高 对比度 数字 装置 及其 方法 | ||
1.一种数字微镜装置，包括：
衬底的上表面上的多个载流导体，每个载流导体具有上表面；
布置在所述载流导体的所述上表面上的低反射率金属；
在所述衬底之上形成缝隙的第一和第二微镜；而且
其中布置在所述载流导体的所述上表面上的所述低反射率金属减少了所述载流导体通过所述缝隙接收的光的反射。
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述低反射率金属包括多层堆叠结构。
3.根据权利要求1或2所述的装置，其中对于从约0.4微米到约0.7微米的光波长，所述低反射率金属具有低于约0.6的反射率。
4.根据权利要求1或2所述的装置，其中对于从约0.2微米到约0.8微米的光波长，所述低反射率金属具有低于约3.5的K值。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的装置，其中所述低反射率金属包括钛、钨、钒或钽。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的装置，其中所述低反射率金属在与所述数字微镜装置的顶部空间中的元素起反应时形成离子化合物。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的装置，其中所述低反射率金属是至少部分地透射的。
8.一种用于提高数字微镜装置对比度的方法，包括：
通过置于数字微镜装置的衬底之上的第一微镜和第二微镜形成的缝隙来接收光，所述衬底在所述衬底的上表面上具有多个载流导体，每个载流导体具有被布置在所述载流导体的上表面上的低反射率金属；
允许通过所述缝隙接收的光接触所述低反射率金属；以及
至少部分地减少所述低反射率金属通过所述缝隙接收的光的反射。
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