[发明专利]用于提高电子器件测试系统的工作频率的方法和装置

权利要求书

1.一种在测试机与待测电子器件之间交互测试信号的装置，所述装置包括：

结构；

多个信道端子，所述信道端子设置在所述结构上并且被配置成与来自所述测试机的通信信道电连接；

多个探针，所述探针设置在所述结构上并且被配置成接触所述电子器件的测试特征；

多个驱动信道，所述驱动信道将一些信道端子与一些探针连接起来；以及

多个分流电阻器，所述分流电阻器设置在所述结构上，每个所述分流电阻器直接连接到所述驱动信道之一，其中

所述驱动信道中至少一个包括多个分支，

每个所述分支电连接到所述信道端子之一，

每个所述分支端接在所述探针的不同的一个，

每个所述分支包括设置在所述信道端子和所述分支端接在其中的探针之间的分支中的隔离电阻器，以及

每个所述分支通过所述分流电阻器之一从设置在所述分支中的所述隔离电阻器和所述分支端接在其中的所述探针之间电连接到接地。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述分流电阻器是薄膜电阻器。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述结构包括第一基板且所述探针设置在所述第一基板上。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述分流电阻器设置在所述第一基板上。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述分流电阻器是薄膜电阻器。

6.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述探针和所述分流电阻器都设置在所述第一基板的第一表面上。

7.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述分流电阻器设置在所述第一基板之内。

8.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述结构进一步包括第二基板且所述信道端子设置在所述第二基板上。

9.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述隔离电阻器设置在所述第一基板上。

10.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述分流电阻器是薄膜电阻器，并且所述隔离电阻器是设置在所述第一基板上的薄膜电阻器。

11.一种适用于测试包括多个输入端的电子器件的方法，每个所述输入端包含电容，该方法用于包括测试机和端接于探针中的多个驱动信道的测试系统中，所述方法包括：

提供多个驱动器，每个所述驱动器连接至所述驱动信道之一；

提供多个分流电阻器，每个所述分流电阻器设置在所述驱动信道之一中的探针末端处并连接着接地；

使所述探针与所述输入端接触，每个所述驱动信道通过所述探针之一连接至一个所述输入端；

利用开关将所述多个分流电阻器连接到一些驱动信道，其中所述开关被配置成有选择地将所述分流电阻器与所述一些驱动信道连接和断开；

通过所述一些驱动信道将来自所述测试机的测试信号提供给所述电子器件，以执行所述电子器件的高频功能性测试；

利用所述开关以断开所述分流电阻器和所述一些驱动信道；以及

当所述分流电阻器与所述一些驱动信道断开时，通过所述驱动信道提供第二测试信号，以执行所述电子器件的参数检验。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，所述分流电阻器被配置成提高从所述测试机通过所述一些驱动信道将所述测试信号提供给所述电子器件所处的频率。

13.如权利要求11所述的方法，其特征在于，所述分流电阻器减小所述输入端的上升时间。

14.如权利要求13所述的方法，其特征在于，所述分流电阻器减小所述输入端的下降时间。

15.如权利要求13所述的方法，其特征在于，所述分流电阻器连接到所述一些驱动信道，每个所述分流电阻器都提供在所述驱动信道之一与接地之间的电阻性电路径。