[发明专利]太阳能电池用光吸收层及其制备方法

权利要求书

1、一种太阳能电池用光吸收层的制备方法，该方法包括以下步骤：

步骤1：通过金属有机化学气相沉积，由含有第III族元素B和第VI族元 素X的单独前体在基底上形成结构式为BX的化合物薄膜；

步骤2：通过金属有机化学气相沉积，将来自含有第I族金属元素A的 前体的金属供给所述结构式为BX的化合物薄膜，形成结构式为A₂X的化合 物薄膜；

步骤3：通过金属有机化学气相沉积，使用含有第III族元素C和第VI族 元素X的单独前体在所述结构式为A₂X的化合物薄膜上形成结构式为ACX₂的化合物薄膜，其中，第III族元素B的原子序数大于第III族元素C；以及

步骤4：通过金属有机化学气相沉积，使用含有第III族元素B和第VI族 元素X的单独前体在所述结构式为ACX₂的化合物薄膜上形成结构式为 ABX₂的化合物薄膜，由此形成第一层结构式为ACX₂，第二层结构式为ABX₂的多层薄膜结构。

2、根据权利要求1所述的方法，其中，在步骤2中，第I族元素A的 用量大于形成结构式为A₂X的化合物薄膜的最佳化学计量当量比。

3、根据权利要求1所述的方法，该方法还包括步骤5：通过金属有机化 学气相沉积将来自含有第I族元素A的前体的金属供给在步骤4中形成的第 一层结构式为ACX₂，第二层结构式为ABX₂的化合物薄膜，以向该薄膜补 充元素A，并且通过金属有机化学气相沉积，使用含有第III族元素B和第VI 族元素X的单独前体完全形成所述第一层结构式为ACX₂，第二层结构式为 ABX₂的多层薄膜结构。

4、根据权利要求3所述的方法，该方法还包括步骤6：通过金属有机化 学气相沉积，使用含有第III族元素C和第VI族元素X的单独前体，在步骤5 中形成的所述第一层结构式为ACX₂，第二层结构式为ABX₂的多层薄膜结 构上形成第一层结构式为ACX₂，第二层结构式为A(B，C)X₂的多层薄膜结构。

5、根据权利要求4所述的方法，该方法还包括步骤7：通过金属有机化 学气相沉积将来自含有第I族元素A的前体的金属供给在步骤6中形成的所 述第一层结构式为ACX₂，第二层结构式为A(B，C)X₂的多层薄膜结构，以向 该多层薄膜结构补充元素A，并且通过金属有机化学气相沉积，使用含有第 III族元素B和第VI族元素X的单独前体在该多层薄膜结构上形成结构式为 ABX₂的化合物薄膜，由此形成第一层结构式为ACX₂，第二层结构式为 A(B，C)X₂，第三层结构式为ABX₂的多层薄膜结构。

6、根据权利要求3-5中任意一项所述的方法，其中，在步骤2中，所 述第I族元素A以形成结构式为A₂X化合物薄膜的最佳化学计量当量比来 使用。

7、根据权利要求1-5中任意一项所述的方法，其中，所述第I族元素A 为铜，所述第III族元素B为铟，所述第III族元素C为镓或铝，所述第VI族 元素X为硒。