[发明专利]具有辅助晶圆限制系统的晶圆容器

权利要求书

1.一种多个晶圆与一容器的组合，所述容器用于以-轴向对齐、大体平行相间的排列方式容纳所述晶圆，所述容器包括：

一外壳部分，其具有一顶部、一底部、一对相对的侧面、一背部及由一门框架界定而成的一相对、敞开的正面；

一门，其可密封地接纳于所述门框架中，以封闭所述敞开的正面；以及

一晶圆限制系统，包括位于所述外壳部分中的至少一个晶圆支撑结构及位于所述门上的一晶圆限制结构，以用于啮合及限制所述晶圆，所述至少一个晶圆支撑结构包含多个晶圆支撑架，所述多个晶圆支撑架界定多个狭槽，各狭槽适于分别接纳所述多个晶圆中一单独的晶圆，位于所述门上的所述晶圆限制结构包括一主限制结构及一辅助限制结构，所述主限制结构包括多个弹性晶圆啮合部件，其排列成使第一多个所述晶圆啮合部件与第二多个所述晶圆啮合部件相间隔并相对，所述辅助限制结构定位于所述第一多个与第二多个晶圆啮合部件中间，并界定多个切口，所述切口排列成当所述门啮合于所述门框架中时，在每一切口中分别接纳所述多个晶圆中一单独的晶圆。

2.如权利要求1所述的组合，其特征在于，所述主限制结构包括一周缘框架，所述周缘框架界定一中央开孔并具有一对侧轨，所述弹性晶圆啮合部件从所述侧轨凸伸至所述中央开孔内。

3.如权利要求1所述的组合，其特征在于，每一个所述弹性晶圆啮合部件中包括一第一细长连接部分及一第一倾斜状晶圆接纳部分，所述第一晶圆接纳部分紧靠所述第一连接部分的一第一端定位，所述第一连接部分的一第二端可操作地耦接所述门。

4.如权利要求3所述的组合，其特征在于，各弹性晶圆啮合部件进一步包括一第二细长部分及一第二倾斜状晶圆接纳部分，所述第二细长部分的一第一端紧靠所述第一晶圆接纳部分可操作地耦接所述第一连接部分，所述第二晶圆接纳部分定位于所述第二连接部分上与所述第一晶圆接纳部分相间隔的一位置处。

5.如权利要求1所述的组合，其特征在于，所述晶圆限制结构包括一本体部分，所述本体部分具有一对相对的侧面及一中央部分，所述主限制结构的弹性晶圆啮合部件从每一个所述相对的侧面朝所述中央部分向内凸伸。

6.如权利要求5所述的组合，其特征在于，所述晶圆限制结构的本体部分紧靠所述中央具有一凸起部分，其中所述凸起部分界定所述辅助限制结构的切口。

7.如权利要求1所述的组合，其特征在于，所述切口分别由交汇于一接合点处的一对会聚边缘界定而成，所述接合点定位成当所述门完全接纳于所述门框架中时，各晶圆分别接触所述接合点中一单独的接合点。

8.如权利要求1所述的组合，其特征在于，所述门具有一内侧，且其中所述辅助限制结构与所述门的内侧成一整体地形成并从所述门的内侧向外凸伸。

9.一种多个晶圆与一容器的组合，所述容器用于以一轴向对齐、大体平行相间的排列方式容纳所述晶圆，所述容器包括：

一外壳部分，其具有一顶部、一底部、一对相对的侧面、一背部及由一门框架界定而成的一相对、敞开的正面；

一门，其可密封地接纳于所述门框架中，以封闭所述敞开的正面；以及

一晶圆限制系统，包括位于所述外壳部分中的至少一个晶圆支撑结构及位于所述门上的一晶圆限制结构，以用于啮合及限制所述晶圆，所述至少一个晶圆支撑结构包含多个晶圆支撑架，所述多个晶圆支撑架界定多个狭槽，各狭槽适于分别接纳所述多个晶圆中一单独的晶圆，位于所述门上的所述晶圆限制结构包括一包含多个弹性晶圆啮合部件的主限制结构，所述多个弹性晶圆啮合部件排列成使第一多个所述晶圆啮合部件与第二多个所述晶圆啮合部件相间隔并相对，所述晶圆限制结构进一步包括，在所述容器经受实体震动时，用于阻止所述晶圆移出所述弹性晶圆啮合部件的构件。

10.如权利要求9所述的组合，其特征在于，用于阻止所述晶圆移出的所述构件包括定位于所述第一多个与第二多个晶圆啮合部件中间的一辅助限制结构。

11.如权利要求10所述的组合，其特征在于，所述辅助限制结构包括多个切口，每一切口均由交汇于一接合点处的一对会聚表面界定而成，所述接合点定位成当所述门完全接纳于所述门框架中时，每一晶圆分别接触所述接合点中一单独的接合点。