[发明专利]干涉设备、方法和探头

权利要求书

1.一种用于执行傅里叶域光学相干层析成像的光学干涉设备，所述设备包括提供多个光束的装置，由此同时记录待检查物质内多个不同焦深的干涉图，每一个干涉图由所述多个光束之一提供，

其中所述提供多个光束的装置包括接收单光束的装置和把所述单光束分成所述多个光束的装置，

以及其中把所述单光束分成所述多个光束的装置包括反射面和部分反射面，由此接收的光束传到所述部分反射面并且所述光束的一部分穿过所述部分反射面以便形成第一光束，并且另一部分被反射到所述反射面，在所述反射面，这一部分光束被反射回所述部分反射面并且该光束的一部分穿过所述部分反射面以便形成第二光束，设置所述部分反射面和所述反射面，使得所述第一和第二光束彼此平行地移位，此外，通过在所述反射面和所述部分反射面上的反射和透射来提供所述多个光束的相继的光束。

2.如权利要求1所述的光学干涉设备，其中提供用于把从所述多个不同焦深的干涉图得出的图像组合起来的装置，由此可以构造具有增大的景深的单一图像。

3.如权利要求1所述的光学干涉设备，其中干涉仪把测量光束传到所述待检查物质并且提供用于每一个不同焦深的测量光束。

4.如权利要求1至3中任一项所述的光学干涉设备，其中所述多个光束的焦点从一个到下一个既在横向上又在轴向上移位。

5.如权利要求1至3中任一项所述的光学干涉设备，其中所述反射面和部分反射面组成振荡板，以及其中所述单光束是输入到所述振荡板的会聚或发散光束，使得来自所述振荡板的所述多个光束中的每一个具有不同的轴向焦点。

6.如权利要求1至3中任一项所述的光学干涉设备，其中提供四个光束。

7.如权利要求1至3中任一项所述的光学干涉设备，其中计算所述焦深的轴向间隔，以便考虑在所述待检查物质中焦点腰的瑞利范围。

8.如权利要求1至3中任一项所述的光学干涉设备，其中提供扫描装置，用于与所述多个光束垂直地沿经过所述多个光束的线路扫描所述多个光束。

9.如权利要求5所述的光学干涉设备，其中提供：分束器，所述分束器把所述多个光束中的每一个分成测量光束和参考光束；以及多小面反射镜结构，所述多小面反射镜结构具有用于所述参考光束的每一个的反射面，其中将所述反射面的每一个设定在相应的参考光束的焦点处，所述光学干涉设备还包括两个透镜，其中所述参考光束在所述多小面反射镜结构上反射之前通过所述两个透镜，以及在所述多小面反射镜结构上反射之后再通过所述两个透镜。