[发明专利]配线连接状态的检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及的是一种配线连接状的态检查装置，特别涉及的是一种适合用在要同时检查配线有无断线(open)与配线间有无短路(short)的装置。

背景技术

一般而言，制造半导体集成电路时，为了挑选瑕疵制品，需要进行各种检查。其检查中包含检查配线有无断线或配线间有无短路的所谓断线短路测试者。该断线短路测试是数个检查项目中最花费时间的1个测试。因而，应尽量缩短该断线短路测试需要的时间。

从此种观点，先前提出有可同时检查有无断线与有无短路的方法(如参照专利文献1，2)。

专利文献1：日本特开2001-13215号公报

专利文献2：日本特开2004-77167号公报

记载在此等专利文献1，2的测试方法，均是揭示利用形成在LSI内部的保护二极管作检查的方法。图1显示其动作原理。如进行连接在LSI的端子102的配线的断线短路测试时，自稳流电路104在该端子102上流入稳流，邻接在该端子102的其它端子101，103接地。此时，无断线/短路的异常时，由在LSI的保护二极管105正常地运作，而在端子102上出现按照二极管特性的电位。另外，端子102上产生断线异常时，端子102的电位成为稳流的钳位电位。此外，端子102与其邻接端子101，103发生短路时，该端子102的电位成为0V。

因此，通过在被测试端子上流入稳流，并且将其它邻接端子接地，来测定被测试端子的电位，可同时进行断线测试与短路测试。亦即，此时的测定电位是按照二极管特性的电位时，可判定为正常，是钳位电位时，可判定为断线，为0V时可判断为短路。而后，依序来切换被测试端子时，可就全部的端子进行断线短路测试。

如此，记载在专利文献1，2的技术，是通过同时进行断线测试与短路测试，以谋求缩短断线短路测试时需要的时间。但是，为了依序来切换被测试端子，需要切换动作，而有其切换动作本身花费许多时间的问题。

先前，此种切换动作通常是使用继电器开关。如图2所示，是对应在半导体LSI的各输出端子OUT1，OUT2，OUT3，…，而设置各个继电器开关111_-1，111_-2，111_-3，…，将各个第一分歧接点111a连接在稳流电路104_-1，104_-2，104_-3，…，将第二分歧接点111b接地，并将共享接点111c连接在半导体LSI的各输出端子OUT1，OUT2，OUT3，…。各输出端子OUT1，OUT2，OUT3，…上连接有各个保护二极管112_-1，112_-2，112_-3，…。而后，仅对应在被测试端子OUT2的继电器开关111_-2连接在第一分歧接点111a侧，并且与其对应他端子的继电器开关111_-1，111_-3，…连接在第二分歧接点111b侧的方法。

但是，切换继电器开关后，其成为完全导通状态，在稳定地动作的前，需要相当长的时间，继电器开关的动作速度(信号的切换时间)称不上是如此快者。因此，有测试对象的端子数愈多，合计的切换时间愈长，而断线短路测试需要的时间增大的问题。

此外，每个输出端子OUT1，OUT2，OUT3，…使用继电器开关111_-1，111_-2，111_-3，…的结构时，此等每个继电器开关111_-1，111_-2，111_-3，…需要设置包含稳流电路104_-1，104_-2，104_-3，…的数个测定器，亦有测试装置的电路规模变大的问题。

发明内容

针对此，而考虑使用多任务器电路来取代继电器开关的方法。多任务器电路是依序来切换并联地施加在数个输入端子的输入信号，而自输出端子逐一输出串联信号者，其切换时需要的时间比继电器开关短。此外，连接在多任务器的稳流电路数只须1个，可缩小测试装置的电路规模。

但是，使用多任务器电路时，如图3所示，虽可通过多任务器121选择半导体LSI的各输出端子OUT1，OUT2，OUT3，…中的任何1个输出端子，但是无法进行将未选出的其它输出端子接地的切换动作。因而，虽可进行断线测试，但是产生无法与其同时进行短路测试的问题。