[发明专利]粘结衬底的方法有效
| 申请号： | 200580048636.2 | 申请日： | 2005-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN101128556A | 公开（公告）日： | 2008-02-20 |
| 发明（设计）人： | 卡·西尔弗布鲁克 | 申请（专利权）人： | 西尔弗布鲁克研究有限公司 |
| 主分类号： | C09J5/02 | 分类号： | C09J5/02;B05D3/00;B05D3/10;H01L21/306;H01L21/302;H01L21/308;H01L21/58;H01L23/14;B32B3/30;B32B7/12;B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 段斌;王艳江 |
| 地址： | 澳大利亚*** | 国省代码： | 澳大利亚;AU |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 粘结 衬底 方法 | ||
技术领域
本发明涉及用于将衬底粘结到一起的方法，以及适于粘结在一起的衬底。开发出这种方法主要用于使得微尺度衬底粘结到其它衬底上的粘结力最大化，同时避免了传统的表面打磨技术。
相关申请交叉引用
这里通过交叉索引结合由本申请人或本发明的受让人提交的下列专利或专利申请。
6795215 10/884881 PEC01NP 09/575109 10/296535 09/575110 6805419
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