[发明专利]维修方法及其装置

权利要求书

1.一种维修方法，其特征在于，在该维修方法中，

向空间调制元件入射从激光光源输出的激光，该空间调制元件具有在纵横方向上排列多个而形成的各调制要素，

对该空间调制元件的各调制要素分别进行控制，通过所述各调制要素将所述激光的截面形状整形为维修对象的形状，

向所述维修对象照射该整形后的所述激光，来对该维修对象进行修复。

2.一种维修方法，其特征在于，该维修方法包括以下工序：

从图像数据中提取出所述维修对象的形状数据的工序；

从激光光源输出激光的工序；

根据所述维修对象的形状数据，分别对具有在纵横方向上排列了多个的各调制要素的空间调制元件的各调制要素进行控制，将从所述激光光源输出的所述激光整形为所述维修对象形状的工序；以及

向所述维修对象照射由所述各调制要素所整形的所述激光，来对该维修对象进行修复的工序。

3.根据权利要求1或2所述的维修方法，其特征在于，从所述图像数据中提取出的所述维修对象的形状数据是对差异图像数据或将所述差异图像数据进行了二值化处理的缺陷形状图像数据进行图像处理而求出的所述维修对象的轮廓线形状数据，在对所述维修对象进行修复的工序中，向所述维修对象的轮廓线内部照射所述激光。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的维修方法，其特征在于，该维修方法还包括根据来自对具有所述维修对象的基板进行检查的基板检查装置的检查结果数据来将所述基板定位于维修位置的工序。

5.根据权利要求4所述的维修方法，其特征在于，该维修方法还包括根据来自所述基板检查装置的所述检查结果数据来计算并判定在根据所述空间调制元件的大小而确定的所述可维修区域内是否存在多个所述维修对象的工序。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的维修方法，其特征在于，该维修方法还包括判定在根据所述空间调制元件的大小而确定的所述可维修区域内是否存在所述维修对象的工序。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的维修方法，其特征在于，对所述空间调制元件的所述各调制要素中的、与作为所述维修对象的缺陷形状数据对应的所述各调制要素进行打开控制。

8.根据权利要求1～6中的任一项所述的维修方法，其特征在于，对所述空间调制元件的所述各调制要素中的、与作为所述维修对象的缺陷形状数据以外的数据对应的所述各调制要素进行打开控制。

9.根据权利要求1～8中的任一项所述的维修方法，其特征在于，如果所述维修对象的维修不良，则根据该维修不良的所述维修对象的形状数据来对所述空间调制元件的所述各调制要素再次进行控制，利用所述各调制要素来再次向所述维修不良的所述维修对象照射所述激光。

10.一种维修装置，其特征在于，该维修装置具有：

激光光源，其输出激光；

空间调制元件，其具有可分别控制的各调制要素，且在纵横方向上排列多个该各调制要素而形成；

摄像装置，其对所述维修对象进行拍摄；

维修对象提取单元，其从通过所述摄像装置的拍摄而取得的图像数据中提取出所述维修对象的形状数据；

激光形状控制单元，其根据由所述维修对象提取单元提取出的所述维修对象的形状数据来对所述空间调制元件的所述各调制要素进行控制，通过所述各调制要素将所述激光整形为与所述维修对象形状一致；以及

光学系统，其向所述维修对象照射由所述空间调制元件的所述各调制要素所整形的所述激光。

11.根据权利要求10所述的维修装置，其特征在于，将所述摄像装置和所述空间调制元件配置成相对于所述维修对象共扼的位置关系。

12.根据权利要求10或11所述的维修装置，其特征在于，所述空间调制元件对配置在与所述维修对象的形状数据对应的区域中的所述各调制要素进行驱动。

13.根据权利要求10或11所述的维修装置，其特征在于，所述空间调制元件对配置在与所述维修对象的形状数据对应的区域之外的所述各调制要素进行驱动。