[发明专利]误动作防止手动阀

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于流体控制的手动阀，具体而言涉及这样一种误动作防止手动阀，该手动阀设有用于防止阀在没有操作者操作的情况下打开或关闭的锁定装置，并布置成确保打开和关闭阀的可操作性。

背景技术

例如，一种半导体制造系统等包括用于向腔室供应过程气体的集成阀。这样一种集成阀配备有用于手动控制该集成阀的打开和关闭的手动阀。图22和图23为在JP9-264451(1997)A中公开的构成该集成阀的一个手动阀的剖视图。图22示出了阀关闭状态，而图23示出了阀打开状态。

手动阀200处于阀关闭状态，在该状态下，阀元件201由卷簧202向下推压，从而使膜203压靠阀座211。因此，已经通过入口251流进入口通道252的流体被膜203阻挡。在操作者随后将手柄221逆时针旋转90度时，同样使固定于手柄221的凸轮205旋转90度。

图24为凸轮205的平面图。图25为凸轮205沿着图24中的线A-A剖取的剖视图。图26为凸轮205的分解图。凸轮205呈圆筒形，中央形成有其中插入中央杆204的通孔241。凸轮205的上表面形成有波纹滚动表面，一对径向轴承231和231在该波纹滚动表面上旋转。该波纹滚动表面235形成有位于较高位置处的上凹部233、233、和位于较低位置处的下凹部234、234，从而所述一对径向轴承231、231可配合在其中且定位在合适位置。

因此，当操作者在图22所示的阀关闭状态下旋转手动阀200的手柄时，凸轮205就随着手柄221而旋转，使得径向轴承231脱离下凹部234，并在滚动表面235上滚动。此时，径向轴承231如沿着滚动表面235的坡上升一样滚动，并变为配合在上凹部233内。结果，中央杆204通过平行销206上升从下凹部234到上凹部233的高度。中央杆204被平行销207制止旋转，从而将轴向移动但不旋转。

当形成在中央杆204的下端处的阀元件201向上移动时，一直到此时都由阀元件201按压住的膜203被松开，与阀座211分离。该阀的打开使得已经通过入口251流入阀内的流体通过阀座211的阀开口流入阀腔室253，并通过出口通道254，从出口255流出。

另一方面，当操作者使处于图23所示的阀打开状态下的手动阀200的手柄反转90度时，凸轮205旋转，使得径向轴承231脱离上凹部233，然后与下凹部234接合。阀元件201从而在卷簧202的推力作用下与中央杆204一起向下移动，从而使膜203压靠阀座211，以恢复图22所示的阀关闭状态。

[专利文献1]JP9-264451(1997)A(第4至5页，图1至图5)

[专利文献2]JP2000-97368A(第3至5页，图4、图5)

[专利文献3]JP2002-323167A(第3至4页，图1、图2、图8)

发明内容

本发明要解决的问题

同时，在作为现有技术所提到的专利文献1的手动阀200安装为集成阀的一部分时，操作者经常会在操作打开或关闭另一个阀时用他/她的手触及或碰到手柄221，在所述集成阀中，阀以小间距隔开。此时，手柄221趋于在受到碰撞而转动，造成阀打开或关闭。因此，在使用包括手动阀200的集成阀的半导体制造系统中，由于错误而造成打开的手动阀可能使不必要的过程气体被馈送到腔室中，导致制造故障。因此需要避免手动阀的这种误动作。

在这一方面，存在一种设有锁定装置的传统手动阀。例如，如图27所示，JP2000-97368A公开了一种内部形成有阀座的主体303固定地设有L形锁定构件301的结构。锁定构件301形成有包围联接于阀元件的手柄302的下部的外周的臂。通过旋紧锁定螺栓304，手柄302抵抗相对于主体303的运动被保持。进而，本申请的申请人在先提出且在JP2002-323167中公开的发明为设置成通过挂锁制止阀打开和关闭的手动阀。这样的设有锁的手动阀能够可靠地防止误动作；然而，需要花费较长时间来卸下锁，从而导致非常繁琐的工作。

已经作出本发明来解决上述问题，本发明的目的在于提供一种误动作防止手动阀，该手动阀能够防止误动作，同时确保打开或关闭阀的可操作性。

解决问题的手段