[发明专利]向机器人指示工件交接位置的指示装置和指示方法

说明书

技术领域

本申请发明涉及在具有保持工件外周的工件保持机构的装置之间进行工件交接时预先向机器人指示工件交接位置以免工件的中心位置偏移所使用的向机器人指示工件交接位置的指示装置以及指示方法，尤其涉及廉价、能够短时间地进行指示的指示装置和方法。

背景技术

在具有固定保持圆形基板——例如晶片的外周的所谓边缘夹持式保持机构的装置之间进行晶片交接时，如果晶片的中心位置偏移，则保持机构的握持部对晶片施加应力，有使晶片破损的危险。因此，在这种晶片交接过程中，为了使晶片的中心位置不偏移，有必要向可动侧装置(机器人)的控制装置正确地指示将晶片从可动侧装置(机器人)交接给固定侧装置的晶片保持位置的交接位置。

以往，在机器人的手与晶片处理装置的晶片安放台等之间进行晶片交接时，为了避免晶片的中心位置偏移、进行准确的交接，提出过各种向机器人指示晶片的交接位置的指示装置和指示方法的方案。日本再公表特许公报WO2003/022534(专利文献1)所记载的方案为其中之一，但现有技术的方案几乎都是用传感器或摄像元件等进行位置检测的方案。因此，指示作业费时，并且指示装置昂贵。

专利文献1：日本再公表特许公报WO2003/022534

专利文献2：日本特开2003-218186号公报

发明内容

本申请发明以解决现有技术的向机器人指示工件交接位置的指示装置及指示方法所存在的上述问题点，其课题为提供一种不使用传感器或摄像元件等，廉价、并且能够短时间地进行指示的向机器人指示工件交接位置的指示装置和指示方法。

如果采用本申请的发明，上述问题用下述向机器人指示工件交接位置的指示装置和指示方法解决。

即，该向机器人指示工件交接位置的指示装置，为了在可动侧的机器人手与固定侧的工件安放台之间进行工件交接时预先向机器人指示工件交接位置以免工件的中心位置偏移而被使用，所述可动侧的机器人手具有保持工件外周的工件保持机构；所述固定侧的工件安放台具有保持工件外周的工件保持机构；其特征在于，具有：第1夹具，安装在上述机器人手上，表示上述可动侧的工件保持机构握持上述工件时上述工件的中心位置；第2夹具，安装在上述工件安放台上，表示上述固定侧的工件保持机构在上述工件安放台上握持上述工件时上述工件的中心位置；以及指示单元，向上述机器人的控制装置指示使上述第1夹具所表示的上述工件的中心位置与上述第2夹具所表示的上述工件的中心位置一致时上述机器人手的位置。

由于该向机器人指示工件交接位置的装置采用上述结构，具有第1夹具、第2夹具、向该机器人的控制装置指示使该第1夹具所示的工件的中心位置与该第2夹具所示的工件的中心位置一致时机器人的手的位置的指示单元，因此不用使用传感器或摄像元件等，能够提供廉价、能够短时间地进行指示的向机器人指示工件交接位置的指示装置。

如果采用优选实施形态，在该向机器人指示工件交接位置的指示装置的第1夹具所示的工件的中心位置形成凹部或凸部；在第2夹具所示的工件的中心位置形成凸部或凹部。

通过采用此结构，能够提供可以简单地进行使这些夹具所示的工件的中心位置一致的操作、廉价并能短时间地进行指示的向机器人指示工件交接位置的装置。

如果采用其他优选实施形态，该向机器人指示工件交接位置的指示装置还具有第1辅助夹具；该第1辅助夹具的直径与工件的直径相同，在该第1辅助夹具的中心形成有第1辅助凸部或第1辅助凹部；在该第1辅助凸起或第1辅助凹部嵌合或者对位在机器人的手上安装的第1夹具的上述凹部或凸部上的状态下能够调整其位置，使可动侧的工件保持机构握持该第1辅助夹具。

通过采用这种结构，能够简单地使可动侧的(机器人的手一侧)工件保持机构握持工件外周时该工件的中心位置与第1夹具的凹部或凸部的位置一致，能够精度良好地确定其位置。

并且，该向机器人指示工件交接位置的指示方法为，为了在可动侧的机器人手与固定侧的工件安放台之间进行工件交接时预先向机器人指示工件交接位置以免工件的中心位置偏移而被使用，所述可动侧的机器人手具有保持工件外周的工件保持机构；所述固定侧的工件安放台具有保持工件外周的工件保持机构；其特征在于，使用以下单元：第1夹具，安装在上述机器人手上，表示上述可动侧的工件保持机构握持上述工件时上述工件的中心位置；以及第2夹具，安装在上述工件安放台上，表示上述固定侧的工件保持机构在上述工件安放台上握持上述工件时上述工件的中心位置，向上述机器人的控制装置指示使上述第1夹具所表示的上述工件的中心位置与上述第2夹具所表示的上述工件的中心位置一致时上述机器人手的位置。