[发明专利]一种激光微阵列芯片扫描仪

权利要求书

1.一种激光微阵列芯片扫描仪，其特征在于：包括一光学系统，一扫描运动平台和一数据处理系统。其中光学系统包括：一打孔反射镜，其上有一通孔和一反射面，其通孔能使激发光束通过而反射面可反射来自于微阵列芯片的发射光。

2.如权利要求1所述的一种激光微阵列芯片扫描仪，其特征在于：所述光学系统还包括一激发光物镜组，用以将激发光聚焦以通过打孔反射镜。

3.如权利要求1或2所述的一种激光微阵列芯片扫描仪，其特征在于：所述光学系统还包括一入射光系统，用以产生激发光束。

4.如权利要求3所述的一种激光微阵列芯片扫描仪，其特征在于：所述光学系统中的入射光系统包括一第一激光发生器，一第二激光发生器，一分光镜，一斩光器。其中分光镜使第一激光发生器发出的光束通过而反射来自第二激光发生器的光束，而斩光器一次只让来自于其中一个激光发生器的光束通过而阻断另一个激光发生器发出的光束。

5.如权利要求4所述的一种激光微阵列芯片扫描仪，其特征在于：所述光学系统的入射光系统还包括置于第一激光发生器与分光镜之间光路上的第一反射镜和置于分光镜与打孔反射镜之间光路上的第二反射镜。其中由第一激光发生器发出的光束首先经第一反射镜反射后再入射到分光镜，而从分光镜出射的光束再经第二反射镜反射后，再通过打孔反射镜上的通孔。

6.如权利要求4所述的一种激光微阵列芯片扫描仪，其特征在于：所述光学系统中入射光系统还包括两个激光发生器至少其中之一前面光路上设置的相应激发光滤镜。

7.如权利要求4所述的一种激光微阵列芯片扫描仪，其特征在于：所述光学系统中入射光系统还包括一衰减片，位于分光镜后面的光路上。

8.如权利要求1所述的一种激光微阵列芯片扫描仪，其特征在于：所述光学系统还包括一采集系统用以收集发射光。所述采集系统包括一检测器和一位于检测器和打孔反射镜之间的发射光物镜组。

9.如权利要求8所述的一种激光微阵列芯片扫描仪，其特征在于：所述检测器为一光电倍增管。

10.如权利要求8所述的一种激光微阵列芯片扫描仪，其特征在于：所述光学系统的采集系统还包括一针孔，位于发射光物镜组与检测器之间的光路上。

11.如权利要求10所述的一种激光微阵列芯片扫描仪，其特征在于：所述光学系统的采集系统还包括一发射光滤镜组，位于打孔反射镜和发射光物镜组之间的光路上。

12.如权利要求11所述的一种激光微阵列芯片扫描仪，其特征在于：所述发射光滤镜组包括两片或更多激发光滤镜用以滤过不同波长的光束。

13.如权利要求2所述的一种激光微阵列芯片扫描仪，其中光学系统还包括：一入射光系统，包括一第一激光发生器，一第一反射镜用以反射第一激光发生器产生的光束，一第二激光发生器，一分光镜用以透射来自第一反射镜的光束并反射来自第二激光发生器的光束，一斩光器用以一次仅让两个激光发生器之一产生的光束通过而阻断另一个发出的光束，一第二反射镜用以反射光束使之通过打孔反射镜上的通孔；一采集系统，包括位于打孔反射镜之后光路上的一发射光滤镜组，位于发射光滤镜组之后光路上的一发射光物镜组，位于发生光物镜组之后光路上的一针孔，以及一检测器，用以接收依次经过打孔反射镜反射、发射光滤镜组滤过、发射光物镜组和针孔透射后的发射光束。

14.如权利要求1-13所述的一种激光微阵列芯片扫描仪，其特征在于：所述扫描运动平台包括一载物台，其偶联到一扫描驱动装置，该扫描驱动装置驱动载物台在扫描方向运动；该载物台还偶联到一进给驱动装置，该进给驱动系统驱动载物台在进给方向运动。

15.如权利要求14所述的一种激光微阵列芯片扫描仪，其特征在于：所述扫描驱动装置包括一带轮和一弹性薄金属带，缠绕在带轮上。薄金属带的两端连接到载物台上以使带轮的转动能够移动载物台。

16.一种激光微阵列芯片扫描仪，其特征在于：包括一光学系统，一扫描运动平台，和一数据处理系统。其中数据处理系统包括一用于承载微阵列芯片的载物台。该载物台受到一第一驱动装置控制，该驱动装置包括一带轮和一缠绕于带轮上的弹性薄金属带，该薄金属带的两端连接到载物台上以使带轮的转动能够带动载物台的运动。