[发明专利]利用中间印模的图案复制

权利要求书

1.用于将图案从具有结构化表面的模板转移到基板的目标表面的方法，所述方法包括：

初始压印步骤，包括：

-制造具有图案化表面的聚合物印模，包括将所述结构化模板表面压到第一聚合物箔层的表面层中以将反转图案压印到所述表面层中的步骤；以及

第二压印步骤，包括：

-相互平行地布置所述聚合物印模和基板，使所述图案化表面面向所述基板的目标表面，并且设计中间层材料使其在射线中曝光时固化；

-将所述聚合物印模和所述基板加热到温度T_P；并且

在保持所述温度T_P的同时，进行如下步骤：

-将所述聚合物印模压向所述基板，以将所述图案化表面的图案压印到所述中间层中；和

-将所述层在射线中曝光以固化所述中间层。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤：

-在保持所述温度T_P的同时，对所述中间层进行后烘干。

3.根据权利要求1所述的方法，进一步包括以下步骤：

-在保持所述温度T_P的同时，从所述聚合物印模上分离所述基板。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，从所述聚合物印模上分离所述基板的步骤包括以下步骤：当所述聚合物印模仍然被设置成与所述基板上已压印的所述中间层保持接触时，溶解所述聚合物印模。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述材料是具有初始玻璃化温度T_g的可交联的热塑性聚合物，并且其中T_P高于T_g。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述材料是具有玻璃化温度T_g的紫外线下可交联的热塑性聚合物，其中温度T_P高于T_g，并且其中所述射线是紫外线。

7.根据权利要求5所述的方法，其中，所述材料是光化学放大的。

8.根据权利要求1所述的方法，包括：

在相互平行地布置所述聚合物箔层和基板的步骤之前，通过旋涂所述材料而在所述基板上施加所述中间层。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述材料是紫外线下可固化的预聚物，并且其中所述射线是紫外线。

10.根据权利要求1所述的方法，包括：

-在止挡件与柔性膜的第一侧面之间布置所述聚合物箔层和所述基板，并且其中

-将所述聚合物箔层压向所述基板涉及将超压力施加给存在于所述膜的第二侧面上的介质。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述介质包括气体。

12.根据权利要求10所述的方法，其中所述介质包括空气。

13.根据权利要求10所述的方法，其中所述介质包括液体。

14.根据权利要求10所述的方法，其中所述介质包括凝胶。

15.根据权利要求1所述的方法，包括：

-穿过所述聚合物箔层向所述中间层发射射线，其中所述聚合物箔层对于可用于固化所述材料的射线的波长范围而言是可透过的；以及

-通过直接接触所述加热器装置来加热所述基板。

16.根据权利要求10所述的方法，包括：

-穿过所述膜向所述中间层发射射线，其中所述膜对于可用于固化所述材料的射线的波长范围而言是可透过的。

17.根据权利要求10所述的方法，包括：

-穿过所述膜并穿过与所述膜相对的透明壁向所述层发

射射线，为用于所述介质的空腔确定后壁，其中所述后壁和膜

对于可用于固化所述材料的射线的波长范围而言是可透过的。

18.根据权利要求10所述的方法，其中，曝光所述层的步骤包括：-从辐射源发射100-500nm波长范围内的射线。

19.根据权利要求18所述的方法，包括：

-发射脉冲持续时间在0.5-10μs范围内并且脉冲率在每秒1-10个脉冲的范围内的脉动射线。