[发明专利]电子部件试验装置

说明书

技术领域

本发明涉及能够检测在插座上是否残留被试验电子部件(以下也称为IC器件。)的电子部件试验装置。

背景技术

在IC器件等电子部件的制造过程中，为了试验所制造的电子部件的性能或者功能，使用电子部件试验装置。

作为一个现有例子的电子部件试验装置，具备进行IC器件试验的测试部、把试验前的IC器件送入到测试部的装载部、从测试部取出并分类试验完毕的IC器件的卸载部。而且，在装载部中，设置能够在装载部与测试部之间往复运动的缓冲台；具备可以吸附保持IC器件的吸附部，能够在从定制托盘到加热板，从加热板到缓冲台的区域中移动的装载部传送装置。另外，在测试部中，设置具备吸附保持IC器件，能够压向测试头的插座的接触臂，能够在测试部的区域中移动的测试部传送装置。

装载部传送装置在由吸附部把收容在定制托盘中的IC器件吸附保持，放置到加热板上以后，再次由吸附部吸附保持被加热到预定温度的加热板上的IC器件，放置到缓冲台上。而且，放置IC器件的缓冲台从装载部移动到测试部一侧。接着，测试部传送装置通过接触臂吸附保持缓冲台上的IC器件，并压向测试头的插座，使IC器件的外部端子(器件端子)与插座的连接端子(插座端子)接触。

在其状态下，向IC器件施加从试验机本体通过电缆供给到测试头上的测试信号，通过经由测试头以及电缆把从IC器件读出的应答信号传送到测试机本体，测定IC器件的电气特性。

然而，在上述的测试部传送装置的一系列动作中，在IC器件向插座的按压动作失败，或者插座上的IC器件吸附动作失败的情况下，IC器件依旧残留在插座上继续以后的动作。如果在这种状态下为了进行下一个IC器件的试验，把IC器件压向插座，则由于在该插座上残留前一个IC器件，因此不能够把下一个IC器件压向插座，无法进行正常的试验。

这种“IC器件重叠”的不理想状况不仅是不能正常进行IC器件试验的问题，还有可能把前一个IC器件的试验结果错误地识别成下一个IC器件的试验结果，错误分类IC器件。另外，由于重叠按压IC器件，还有可能损伤插座或者IC器件。

以往，为了应对这样的问题，在IC器件的吸附错误等发生时鸣响警报，提醒操作人员，操作人去除IC器件，但仅由人的目视检查并不能完全解决重叠放置的不理想状况。

另外，有时为了进行电子部件试验装置的维修，把IC器件放置在插座上进行保养作业，而在保养作业结束后，也有忘记取下所使用的IC器件的情况，这样的情况下也将产生同样的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供能够检测在插座上是否残留被试验电子部件的电子部件试验装置。

为了达到上述目的，本发明的电子部件试验装置，为了试验被试验电子部件的电气特性，把被试验电子部件传送到接触部的插座上，使上述被试验电子部件与该插座电气性连接，其特征是具备：拍摄上述插座的摄像单元；存储单元，存储由上述摄像单元拍摄取得的、没有安装上述被试验电子部件状态下的上述插座的基准图像数据；残留判定单元，在由上述摄像单元取得上述插座的检查图像数据的同时，从上述存储单元读出上述基准图像数据，把这些检查图像数据与基准图像数据进行比较，判定在上述插座中是否残留被试验电子部件。

在本发明中，把由摄像单元拍摄的实际插座的图像数据(检查图像数据)与预先拍摄并存储到存储单元中的、没有被试验电子部件的插座的图像数据(基准图像数据)进行比较，判定在插座上是否残留着被试验电子部件。由此，即使操作人员没有通过目视确认插座，也能够自动判定在插座上是否残留着被试验电子部件。特别是，由于根据图像数据能够容易地识别被试验电子部件的有无，因此判定处理时间短，另外还没有进行误判定的可能性。

本发明的电子部件试验装置，优选为具备当由上述残留判定单元判定为在上述插座上残留着被试验电子部件时，提醒其含义的报警单元。

依据本发明，能够在插座上残留着被试验电子部件时，使操作人员确实地知晓，由此能够预先防止不正确试验的实施、插座或者被试验电子部件的损伤。

本发明的电子部件试验装置，优选为具备传送单元，其保持上述被试验电子部件，并将其压向上述插座，上述电子单元安装在上述传送单元上。

通过把摄像单元安装在传送单元上，不需要另外设置把摄像单元传送到插座位置的装置。

在本发明的电子部件试验装置中，没有特别限定判定在插座上是否残留着被试验电子部件的定时。