[发明专利]加速度传感器装置

权利要求书

1. 一种加速度传感器装置，通过模制树脂密封下面被固定在基板上的加速度传感器芯片，其特征在于，

所述加速度传感器芯片，使锤部根据施加的加速度摇动的空间气密，

在所述模制树脂和加速度传感器芯片之间，设置有覆盖所述加速度传感器芯片侧面以及上面的缓冲部件。

2. 根据权利要求1所述的加速度传感器装置，其特征在于，所述加速度传感器芯片包括：

加速度传感器元件，其具有框体、从所述框体的内侧面向所述框体的内侧方向延伸设置的梁部、和从所述梁部下面的一部分向下方延伸的所述锤部；

上面密封体，其覆盖所述框体的上面开口部；

下面密封体，其覆盖所述框体的下面开口部，

所述梁部的上面与所述框体的上面分离开，且所述锤部的下面与所述框体的下面分离开。

3. 根据权利要求2所述的加速度传感器装置，其特征在于，从所述框体的上面到所述梁部的上面的距离与从所述框体的下面到所述锤部的下面的距离大致相同。