[发明专利]加速度传感器装置及传感器装置

权利要求书

1.一种加速度传感器装置，包括：

基板；以及

加速度传感器芯片，其包括：具有根据所施加的加速度而摇动的锤部的加速度传感器元件、以及支撑所述加速度传感器元件的基座部，

其特征在于，在所述基座部和基板之间设置有吸收两者热膨胀或者热收缩时产生的热应力的缓冲材料。

2.根据权利要求1所述的加速度传感器装置，其特征在于，所述缓冲材料的热膨胀系数与所述基座部的热膨胀系数大致相等。

3.根据权利要求1或2所述的加速度传感器装置，其特征在于，所述基板为环氧玻璃基板，

所述基座部用硅或者热膨胀系数与硅相近的玻璃形成，

所述缓冲材料用硅或者热膨胀系数与硅相近的玻璃形成。

4.根据权利要求3所述的加速度传感器装置，其特征在于，所述基座部与所述缓冲材料使用硅系粘结剂固定，所述缓冲材料与所述基板使用硅系粘结剂固定。

5.一种传感器装置，其特征在于，包括：

权利要求1至4的任一项所述的加速度传感器装置；

检测磁场的磁传感器；以及

检测压力的压力传感器。