[发明专利]用于形成导电图案的银有机溶胶墨水

说明书

技术领域

本发明涉及银有机溶胶墨水，更具体而言，涉及用于形成导电图案的溶液型银有机溶胶墨水。

背景技术

半导体和显示器行业中所用的图案形成技术可分为三类。一类是减法，主要用于诸如CVD、PVD以及溅射等薄膜技术，其中将金属层沉淀在基体上，通过平版印刷术在所述金属层上使光阻层(photo-resist layer)图案化，然后将金属层蚀刻成图案。另一类是用于诸如丝网印刷等厚膜技术的加法。第三类是加法和减法都采用的加减法。通过加法形成图案是一种比较经济的方法，其可以节约材料并且可以减少步骤数，但诸如丝网印刷等厚膜技术的加法不像薄膜工艺那样精细，因此将其用于不同的工艺。

如果加法完成的图案更精细，则从环境和降低成本方面而言加法更为有利。例如，已经尝试将加法应用于原先通过薄膜技术形成的滤色镜用图案形成。在此背景下，通过喷墨印刷形成图案近来受到关注。

自从Vest，R.W.测试了由MOD材料制成的墨水以来(IEEETransactions on Components，Hybrids and Manufacturing Technology，12(4)，545-549，1987)，人们对MOD材料就有了研究。Kydd等在WO98-37133中公开了由MOD材料和金属颗粒组成的喷墨印刷墨水。Kovio Inc.所拥有的美国专利第6878184号公开了由MOD和还原剂(例如，醛类)制得的纳米级颗粒的金属墨水。已进行了诸多尝试以利用含有分散的细金属颗粒(特别是用于形成导电图案的银颗粒)的墨水。对于分散有细金属颗粒(即细银颗粒)的墨水，应当设计包括喷嘴的新型喷墨印刷系统，这是由于这些墨水的表现与普通墨水不同。此外，为维持悬浮而加入的添加剂会损害所形成的图案的物理特性。

在上述方面中，如果包含MOD(金属有机分解材料)的墨水完全是溶液，则可将其用于传统的喷墨印刷设备中而无需对系统进行大的改造。此外，包含MOD的溶液墨水可降低金属化温度，因而可用在诸如塑料等柔性基体上。

Haeuncomtec申请的韩国专利公报第2004-85470号公开了一种喷墨印刷用金属墨水，所述金属墨水由5重量％～40重量％的氧化银；10重量％～20重量％的内酰胺、内酯或碳酸盐以及20重量％～85重量％的胺组成。考虑到墨水的黑色，实施例中所制备的墨水可能是悬浮体而不是溶液。应当在墨水中加入会损害所形成的图案的物理特性的乳化剂以维持悬浮。此外，会产生与由颗粒造成的喷嘴阻塞有关的维护问题。

至今所公开的现有技术列于下面的表1和表2。

表1

专利文献