[发明专利]TCP处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于对作为IC器件的1种的TCP(Tape CarrierPackage，带载封装)和COF(Chip On Film，覆晶薄膜)(以下，将通过TCP、COF、其他TAB(Tape Automated Bonding，载带自动键合)安装技术制造的器件总称为“TCP”。)进行试验的TCP处理装置(TCP handling device)。

背景技术

在IC器件等电子零件的制造过程中，需要对最终制造的IC器件和处于其中间阶段的器件等的性能和功能进行试验的电子零件试验装置，在TCP的情况下，使用TCP用的试验装置。

TCP用的试验装置一般由测试主体、测试头(test head)、以及TCP处理装置(以下有时称为“TCP处理机(TCP handler)”。)构成。该TCP处理机具有如下功能：搬送在带(tape)(也包含薄膜(film)的概念。以下相同。)上形成有多个TCP的承载带(carrier tape)，向电连接到测试头的探针板(probe card)的探针(probe)按压承载带，使TCP的测试焊盘(test pad)接触到探针，从而将多个TCP依次交付到试验中。

另外，为了使用TCP处理机高效且正确地进行试验，需要使TCP的测试焊盘和探针板的各探针可靠地接触。

因此，在使用TCP处理机的情况下，在使其实际动作来进行试验之前，预先针对TCP处理机进行初始设定，并进行登记该设定的作业，以使TCP的测试焊盘和探针板的各探针能够可靠地接触。

例如如下那样进行TCP处理机的初始设定。首先，在确定搬送到试验位置的TCP和探针板的粗略位置之后，使用照相机对探针板的探针以及TCP的测试焊盘进行摄影，将取得的图像显示在显示装置上。然后，操作者一边对该图像进行识别，一边通过人工操作调整各探针的位置，以使探针板的所有探针能够与TCP的所有测试焊盘接触。将如此设定的位置作为初始设定进行登记，用于实际动作时的对位。

但是，伴随近年来的TCP的多管脚(pin)化以及小型化，TCP的测试焊盘逐渐变小且变为窄间距(pitch)，所以显示在显示装置上的探针以及测试焊盘也变小且变细。因此，初始设定中的焊盘和探针的对位作业变得困难，初始设定所需的作业时间也变长。另外，有时未必能正确地进行TCP和探针的对位，由于这样的原因有时在实际动作中还发生接触不良、接触电阻的不稳定化、以及邻接管脚间的短路等。

发明内容

本发明就是鉴于上述那样的实际状况而提出的，其目的在于：提供一种可正确且容易地进行接触部的接触端子和TCP的外部端子的对位作业的TCP处理装置。

为了达成上述目的，第一，本发明提供如下的TCP处理装置，即在该TCP处理装置中，搬送在带上形成有多个TCP的承载带，向电连接到测试头的接触部按压承载带，使TCP的外部端子接触到上述接触部的接触端子，从而可将多个TCP依次交付到试验中，并且使用摄像装置对TCP的外部端子以及接触部的接触端子进行摄影，可将取得的图像显示在显示装置上，其特征在于：在上述显示装置上显示标准图像和放大图像，使得可以确定TCP的外部端子和接触部的接触端子的位置关系来进行定位，上述标准图像显示使用摄像装置摄影的摄影对象物的全体，放大图像放大显示使用摄像装置摄影的摄影对象物的一部分(发明1)。

根据上述发明(发明1)，可以利用放大图像对作为定位的对象的TCP的外部端子和探针板的接触端子的位置关系进行识别，因此可以正确且容易地进行TCP的外部端子和接触部的接触端子的对位。因此，在使用TCP处理装置时，可以以短时间高效地进行该初始设定。另外，当在TCP处理装置的实际动作中发生接触不良时，还可以利用放大图像对接触不良的状况进行识别。

在上述发明(发明1)中，优选为上述摄像装置是即使在显示出放大图像的情况下也可以确定TCP的外部端子和接触端子的位置关系且能够进行两端子的定位的高分辨率的摄像装置(发明2)。通过使用高分辨率的摄像装置，能够鲜明地显示TCP的外部端子和接触端子，可更正确地进行对位作业。另外，通过使用高分辨率的摄像装置，可以扩大一次摄影的范围来降低所摄影的图像的数量，由此使摄像装置移动的频度变少，可使机械的移动误差和多个图像的重合处理等的误差减少，因此，可对应于具有更微细且窄间距的外部端子的TCP。