[发明专利]显示装置等电子装置的制造装置、制造方法及显示装置等的电子装置

权利要求书

1.一种电子装置的制造方法，其具有固化透明的热固化性树脂(44) 的工序，其特征在于，

进行所述固化的工序包括加热处理，

在具有表面粗糙度以中心平均粗糙度Ra表现的情况下为～m以下的 内表面的加热处理装置(20)内以惰性气体形成所述加热处理的气氛，所 述内表面具有：含有氧化铬、氧化铝、氧化钛、氧化钇、氧化镁中的至少 一种的氧化物钝态膜，

通过所述加热处理时所述气氛中的残存氧浓度控制在10ppm以下，残 存水分浓度控制在10ppm以下，且添加0.1～100体积％的还原性气体来 形成光线透过率为99％以上的树脂膜。

2.根据权利要求1所述的电子装置的制造方法，其特征在于，

所述还原性气体为氢。

3.根据权利要求1所述的电子装置的制造方法，其特征在于，

所述热固化性树脂(44)含有：一种或多种选自由丙烯酸系树脂、硅 酮系树脂、氟系树脂、聚酰亚胺系树脂、聚烯烃系树脂、脂环族烯烃系树 脂、环氧系树脂及二氧化硅系树脂构成的组的树脂。

4.一种电子装置，其具有透明的热固化性树脂层(44)，其特征在于，

所述热固化性树脂层利用权利要求1所述的方法制造。

5.根据权利要求4所述的电子装置，其特征在于，

所述电子装置具有基板(31)，所述热固化性树脂层(44)与配线层 (42、43)一同配置于所述基板上。

6.根据权利要求4所述的电子装置，其特征在于，

所述热固化性树脂含有：一种以上选自由丙烯酸系树脂、硅酮系树脂、 氟系树脂、聚酰亚胺系树脂、聚烯烃系树脂、脂环族烯烃系树脂、及环氧 系树脂构成的组的树脂。

7.根据权利要求4所述的电子装置，其特征在于，

所述电子装置是平板显示装置、印制电路板、个人电脑或移动电话终 端。

8.根据权利要求4所述的电子装置，其特征在于，

所述电子装置是液晶显示装置或有机EL显示装置。

9.一种电子装置，其具有有源矩阵基板(100)，该有源矩阵基板(100) 在绝缘性基板(31)上至少具有扫描线(32)、信号线(33)、和在该扫描 线和该信号线的交叉部附近，栅电极(41)与该扫描线连接，且源电极(42) 或漏电极(43)与该信号线连接的薄膜晶体管(40)，在所述薄膜晶体管 (40)和透明电极(52)之间存在有平坦化层(44)，其特征在于，

该平坦化层(44)由透明的热固化性树脂形成，所述热固化性树脂是 利用权利要求1所述的方法固化而成的。

10.根据权利要求9所述的电子装置，其特征在于，

所述平坦化层(44)含有：含有碱可溶性脂环族烯烃树脂、和放射线 敏感成分的树脂组合物。

11.一种电子装置，其具有有源矩阵基板(100)，该有源矩阵基板(100) 在绝缘性基板(31)上至少具有扫描线(32)、信号线(33)、和在该扫描 线和该信号线的交叉部附近，栅电极(41)与该扫描线连接，且源电极(42) 或漏电极(43)与该信号线连接的薄膜晶体管(40)，所述信号线、所述 源电极、以及所述漏电极的表面与包围它们的平坦化层(44)基本上形成 同一平面，其特征在于，

该平坦化层(44)由透明的热固化性树脂形成，所述热固化性树脂是 利用权利要求1所述的方法固化而成的。

12.根据权利要求11所述的电子装置，其特征在于，

所述平坦化层(44)含有：含有碱可溶性脂环族烯烃树脂、和放射线 敏感成分的树脂组合物。

13.一种电子装置，其在等离子体CVD膜(40)和透明基板(52) 之间，含有光线透过率为99％以上的树脂膜(44)，其特征在于，

所述树脂膜(44)是利用权利要求1所述的方法制造的。

14.根据权利要求13所述的电子装置，其特征在于，

所述树脂膜(44)含有一种或多种选自由丙烯酸系树脂、硅酮系树脂、 氟系树脂、聚酰亚胺系树脂、聚烯烃系树脂、脂环族烯烃系树脂、环氧系 树脂及二氧化硅系树脂构成的组的树脂。