[发明专利]制造透镜的方法

权利要求书

1、一种制造具有同心图案的透镜的方法，该方法包括：

第一步骤，制造具有同心图案的掩模；

第二步骤，使所述掩模对准在涂覆有光刻胶的基板上并执行曝光过程；

第三步骤，对曝光后的基板进行显影以获得由所述光刻胶形成的同心图案，所述同心图案的光刻胶呈环面形式；

第四步骤，对显影后的基板进行回流过程从而使呈环面形式的所述光刻胶弯曲；

第五步骤，制造压模，在该压模中以凹陷形式刻有由呈环面形式的所述光刻胶形成的同心图案；以及

第六步骤，利用所述压模作为模具来注射成型具有所述同心图案的透镜。

2、根据权利要求1所述的方法，其中，所述掩模包括薄膜掩模或铬掩模。

3、根据权利要求1所述的方法，其中，所述第五步骤包括以下步骤：

在所述基板上涂覆金属薄膜；

用镍电镀所述金属薄膜并使镀镍部分与所述基板分离；以及

利用所述镀镍部分作为所述压模。

4、根据权利要求3所述的方法，其中，在所述第五步骤中，所述金属薄膜的涂覆包括铬涂覆。

5、根据权利要求4所述的方法，其中，在所述第五步骤中，在涂覆铬之后进一步涂覆金。

6、根据权利要求1所述的方法，其中，构成所述掩模中的所述同心图案的相应环面具有互不相同的厚度。

7、根据权利要求1所述的方法，其中，在所述第六步骤中注射成型出的透镜上的同心圆形成为在它们之间具有期望间距。

8、根据权利要求1所述的方法，其中，在所述第六步骤中注射成型出的透镜上的同心圆形成为使得相邻环面彼此接触。

9、一种制造多层微透镜的方法，该方法包括：

第一步骤，将第一掩模对准在涂覆有光刻胶的基板上并执行曝光过程，所述第一掩模包括不能透光的圆形遮光区；

第二步骤，对曝光后的基板进行显影以获得柱状光刻胶部分；

第三步骤，对显影后的基板进行回流过程以使所述光刻胶部分变成球面透镜特征；

第四步骤，制造第一压模，在该第一压模中以凹陷形式刻有所述球面透镜特征；

第五步骤，利用所述第一压模来制造第二压模，在该第二压模中以凸起形式形成有所述球面透镜特征；

第六步骤，将第二掩模对准在涂覆有光刻胶的所述第二压模上并进行曝光过程，所述第二掩模包括比在所述第一掩模中形成的所述圆形遮光区小的遮光区；

第七步骤，通过曝光对形成在所述第二压模的球面透镜上的光刻胶进行显影并执行回流过程；

第八步骤，制造第三压模，在该第三压模中以凹陷形式刻有由形成在所述球面透镜上的光刻胶构成的双层结构；以及

第九步骤，利用所述第三压模作为模具来注射成型透镜，使得在该透镜上以凸起形式形成有由形成在所述球面透镜上的光刻胶构成的所述双层结构。

10、根据权利要求9所述的方法，其中，所述第一掩模包括薄膜掩模或铬掩模。

11、根据权利要求9所述的方法，其中，在所述第一掩模上排列有多个遮光区。

12、根据权利要求10所述的方法，其中，所述第二掩模包括铬掩模。

13、根据权利要求9所述的方法，其中，所述第四、第五和第八步骤包括以下步骤：

涂覆金属薄膜；

用镍电镀所述金属薄膜并仅分离镀镍部分；以及

利用所述镀镍部分作为压模。

14、根据权利要求13所述的方法，其中，所述金属薄膜的涂覆包括铬涂覆。

15、根据权利要求14所述的方法，其中，所述金属薄膜的涂覆还包括在所述铬涂覆之后附加地涂覆金。