[发明专利]用于对多晶硅膜进行抛光的化学机械抛光浆料组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种用于对多晶硅膜进行抛光的化学机械抛光浆料组合物，该组合物含有：

(a)金属氧化物；

(b)季铵碱；和

(c)如式1所示的氟类表面活性剂：

CF₃(CF₂)_nSO₂X    (1)

其中，n为1-20，X为COOR、RO、(OCH₂CH₂)_n′或(OCH₂CH(OH)CH₂)_n′，R为C_1-20烷基，n′为1-100。

2.根据权利要求1所述的浆料组合物，其中，以该浆料组合物的总重量为基准，所述氟类表面活性剂的含量为0.001-1重量％。

3.根据权利要求1所述的浆料组合物，其中，所述金属氧化物为选自SiO₂、Al₂O₃、CeO₂、ZrO₂和TiO₂中的至少一种，所述金属氧化物的原生粒径为10-200nm、比表面积为10-300m²/g。

4.根据权利要求1所述的浆料组合物，其中，所述季铵碱为选自四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵和四丁基氢氧化铵中的至少一种化合物。

5.根据权利要求1所述的浆料组合物，其中，使用两种以上的如式1所示的氟类表面活性剂的混合物。

6.一种制备权利要求1所述的化学机械抛光浆料组合物的方法，该方法包括将0.001-1重量％的氟类表面活性剂、0.01-5重量％的季铵碱和0.1-30重量％的金属氧化物加入超纯水中，然后进行混合；其中，所述氟类表面活性剂如式1所示：

CF₃(CF₂)_nSO₂X    (1)

其中，n为1-20，X为COOR、RO、(OCH₂CH₂)_n′或(OCH₂CH(OH)CH₂)_n′，R为C_1-20烷基，n′为1-100。