[发明专利]可偏转微机械元件

权利要求书

1.一种由悬挂装置保持的可偏转微机械元件，所述悬挂装置由弹 簧系统形成，其特征在于，所述弹簧系统由以枢转方式与扭簧元件(4) 连接的连杆(2、2’)形成；且所述弹簧系统的所述扭簧元件(4)沿共 用轴线和/或沿多条互相平行排列的轴线排列，并且至少一个所述扭簧 元件被牢固地夹紧；在所述微机械元件(1)的非偏转状态下，所述微 机械元件(1)以及所有所述连杆(2、2’)和所述扭簧元件(4)位于 同一平面内；所述微机械元件沿与所述平面垂直的方向发生振荡式平移 运动；在所述微机械元件(1)的偏转方向上所述连杆(2、2’)比所述 扭簧元件(4)对扭矩具有更大的机械抵抗能力，所述微机械元件(1) 通过两个以上的弹簧系统悬挂，其中，所述弹簧系统以彼此等角距的方 式布置。

2.如权利要求1所述的元件，其特征在于，所述连杆(2、2’)与 所述扭簧元件(4)由共同的基材制成。

3.如前述权利要求中任一项所述的元件，其特征在于，至少两个 相似的弹簧系统互相对称地布置。

4.如权利要求1或2所述的元件，其特征在于，所述弹簧系统的至 少两个所述扭簧元件(4)沿直径互相相对地牢固地固定。

5.如权利要求1或2所述的元件，其特征在于，所述弹簧系统绕与 所述扭簧元件(4)沿其排列的轴线相垂直排列的轴线对称地制成。

6.如权利要求1或2所述的元件，其特征在于，所述弹簧系统的所 述扭簧元件(4)的固定夹具(3)以互相间隔一定间距的方式布置，该 间距在相应的弹簧系统与所述微机械元件(1)接合的区域内至少是所 述微机械元件(1)的延伸范围的2/3大。

7.如权利要求1或2所述的元件，其特征在于，与所述扭簧元件(4) 连接的所述连杆(2)另外与加强元件(5)连接。

8.如权利要求1或2所述的元件，其特征在于，所述弹簧系统的两 个连杆(2’)在所述微机械元件(1)处接合。

9.如权利要求1或2所述的元件，其特征在于，沿轴线设置的两个 扭簧(6)另外接合于由两个弹簧系统保持并且可绕轴线转动的所述微 机械元件(1)。

10.如权利要求1或2所述的元件，其特征在于，所述扭簧元件(4) 具有沿其纵轴线改变的横截面。

11.如权利要求1或2所述的元件，其特征在于，所述弹簧系统的 所述连杆(2、2’)与弯曲弹簧连接。

12.如权利要求1或2所述的元件，其特征在于，接合于所述微机 械元件(1)处的所述连杆(2)设计为弯曲弹簧元件。

13.如权利要求1或2所述的元件，其特征在于，所述弹簧系统的 扭簧元件(4)沿多条互相平行排列并且与所述微机械元件(1)相距不 同间隔的轴线设置。

14.如权利要求1或2所述的元件，其特征在于，多于两个的弹簧 系统分别以互相隔开相似的角间距设置和排列。

15.如权利要求1或2所述的元件，其特征在于，连接到所述扭簧 元件的多个所述连杆(2、2’)以交错的形式形成平行回路。

16.如权利要求1或2所述的元件，其特征在于，一个或多个所述 弹簧系统与其它形成连杆结构的连杆连接。

17.如权利要求16所述的元件，其特征在于，所述连杆结构制成蛇 形形式。

18.如权利要求1或2所述的元件，其特征在于，所述连杆(2、2’) 能够以局部限定的方式沿偏转方向在一个或多个所述弹簧系统处弯曲。

19.如权利要求1或2所述的元件，其特征在于，所述微机械元件 被制成为传感器或致动器。