[发明专利]用于减小两个接合硅表面之间的界面氧化物的厚度的方法无效
| 申请号： | 200610000445.5 | 申请日： | 2006-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN1818154A | 公开（公告）日： | 2006-08-16 |
| 发明（设计）人： | J·P·德索萨;J·A·奥特;A·雷茨尼采克;D·K·萨丹那;K·L·森格尔 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 于静;李峥 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 减小 两个 接合 表面 之间 界面 氧化物 厚度 方法 | ||
【权利要求书】：
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