[发明专利]在高压下以超临界或近临界的处理介质处理基片的装置有效
申请号: | 200610001191.9 | 申请日: | 2006-01-13 |
公开(公告)号: | CN1807739A | 公开(公告)日: | 2006-07-26 |
发明(设计)人: | H·C·派利坎;G·F·武尔莱 | 申请(专利权)人: | 斯托克印刷公司 |
主分类号: | D06B1/00 | 分类号: | D06B1/00;D06B9/00;D06F43/00;D06F37/30;H02K3/30;H02K5/16 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 程伟 |
地址: | 荷兰博*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压下 临界 处理 介质 装置 | ||
【权利要求书】:
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