[发明专利]一种具有可控磁场的脉冲激光沉积制膜系统无效
| 申请号： | 200610001808.7 | 申请日： | 2006-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN101003890A | 公开（公告）日： | 2007-07-25 |
| 发明（设计）人： | 宁廷银;周岳亮;赵嵩卿;王淑芳;韩鹏;程波林;金奎娟;吕惠宾;陈正豪;何萌;刘知韵;杨国桢 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高存秀 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 可控 磁场 脉冲 激光 沉积 系统 | ||
【权利要求书】：
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