[发明专利]低缺陷密度的改变取向的Si及其产品无效
| 申请号： | 200610005701.X | 申请日： | 2006-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN1818155A | 公开（公告）日： | 2006-08-16 |
| 发明（设计）人： | 朱尔·佩雷拉·德·苏扎;凯斯·爱德华·福格尔;约翰·阿尔布雷什·奥特;德温德拉·库马尔·萨达纳;凯瑟琳·林恩·萨恩格尔 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 搜索关键词： | 缺陷 密度 改变 取向 si 及其 产品 | ||
【说明书】：
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