[发明专利]纳米印刷模具、其制造方法及纳米印刷装置和方法无效
申请号: | 200610008659.7 | 申请日: | 2006-02-20 |
公开(公告)号: | CN1843768A | 公开(公告)日: | 2006-10-11 |
发明(设计)人: | 大桥健也;宮内昭浩;荻野雅彦 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立产机系统 |
主分类号: | B41N1/00 | 分类号: | B41N1/00;B41N1/24;B41N3/03;B41M5/26;B41C1/00;H01L21/027 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 许海兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纳米 印刷 模具 制造 方法 装置 | ||
【说明书】:
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