[发明专利]减小外差干涉非线性误差一次谐波分量的方法与装置

权利要求书

1.一种减小外差干涉非线性误差一次谐波分量的方法，该方法包含以下步骤：

(1)由双频激光器发出含有两种频率、两种偏振方向的光束；(2)该光束经分光镜后分成两束光，其中反射的光束经检偏器由光电探测器接收，形成参考信号；(3)透射的光束进入偏振分光镜，这束包含两种频率、两种偏振方向的光被偏振分光镜分成两束光，其中偏振方向垂直于纸面的光束被反射称为反射光束，偏振方向平行于纸面的光束被透射称为透射光束，其特征是：偏振方向垂直于纸面的反射光束经固定的参考角锥棱镜反射回偏振分光镜，偏振方向平行于纸面的透射光束经安装在旋转台上的测量角锥棱镜也反射回偏振分光镜；以上两束经参考角锥棱镜和测量角锥棱镜反射的光束在偏振分光镜处汇合，经反射镜反射后，经检偏器由光电探测器接收，形成测量信号；所述的旋转台沿测量角锥棱镜运动方向轴向旋转测量角锥棱镜，所述的旋转台逆时针或顺时针轴向旋转97度。

2.根据权利要求1所述的减小外差干涉非线性误差一次谐波分量的方法，其特征是：所述的测量角锥棱镜放置时，使入射光束垂直于测量角锥棱镜的基面入射，所述的测量角锥棱镜的一条直角棱边在其基面的投影垂直所述的测量角锥棱镜的运动方向A’B’，与Z’轴平行。

3.根据权利要求1所述的减小外差干涉非线性误差一次谐波分量的方法，其特征在于测量角锥棱镜以运动方向A’B’为轴线的轴向旋转。

4.一种应用权利要求1或2或3所述减小外差干涉非线性误差一次谐波分量方法的装置，包括双频激光器(21)、分光镜(22)、偏振分光镜(23)、参考角锥棱镜(24)、测量角锥棱镜(25)、旋转台(26)、反射镜(27)、检偏器(28)、光电探测器(29)、检偏器(30)、光电探测器(31)，参考角锥棱镜(24)和测量角锥棱镜(25)，其特征是：双频激光器(21)发出包含有两种频率、两种偏振方向的光束，该光束经分光镜(22)后分成两束光，其中反射光束经检偏器(28)由光电探测器(29)接收，形成参考信号；透射光束进入偏振分光镜(23)，这束包含两种频率、两种偏振方向的光被偏振分光镜(23)分成两束光，其中偏振方向垂直于纸面的光束被反射，偏振方向平行于纸面的光束被透射；被偏振分光镜(23)反射的光束经固定的参考角锥棱镜(24)反射回偏振分光镜(23)，被偏振分光镜(23)透射的光束经测量角锥棱镜(25)也反射回偏振分光镜(23)，两束经参考角锥棱镜(24)和测量角锥棱镜(25)反射的光束在偏振分光镜(23)处汇合，经反射镜(27)反射后，经检偏器(30)由光电探测器(31)接收，形成测量信测量角锥棱镜(25)安装在旋转台(26)上，旋转台(26)沿测量角锥棱镜(25)运动方向A’B’轴向旋转测量角锥棱镜(25)正负97度。

5根据权利要求4所述的减小外差干涉非线性误差一次谐波分量的装置，其特征是：所述的参考角锥棱镜和/或所述的测量角锥棱镜表面镀金属膜，并为实体角锥棱镜。