[发明专利]GaAs基InSb薄膜异质外延生长的模拟方法无效
申请号: | 200610010315.X | 申请日: | 2006-07-24 |
公开(公告)号: | CN1908252A | 公开(公告)日: | 2007-02-07 |
发明(设计)人: | 李美成;熊敏;王洪磊 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | C30B29/46 | 分类号: | C30B29/46;C30B25/02 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人: | 朱永林 |
地址: | 150001黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | gaas insb 薄膜 外延 生长 模拟 方法 | ||
【权利要求书】:
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