[发明专利]大气压射频放电高速冷等离子体阵列发生器有效
| 申请号： | 200610011364.5 | 申请日： | 2006-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN1812687A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 李和平;包成玉;王华博;孙文廷 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H05H1/40 | 分类号： | H05H1/40;H05H1/50;H01J37/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大气压 射频 放电 高速 等离子体 阵列 发生器 | ||
【说明书】：
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